等离子体发生器

Paramount HFi

紧凑的经济型集成发生器和固态匹配射频电源系统

Advanced Energy 的 Paramount HFi 是一款配备集成固态匹配网络、能在多种阻抗范围中工作的 13.56 MHz 射频电源系统。该解决方案兼具稳定的功率传输、较高的功率密度和卓越的可靠性。

  • 通过将集成系统直接安装在腔室上,可最大限度减小占地面积
  • 借助 32 个调谐档在多种阻抗区域中实现可重复的功率传输
  • 无任何活动件,具有出色的可靠性和重现性
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

Paramount® HFi 是一款适用于沉积和其他半导体等离子体工艺的集成射频电源解决方案。可电控切换的固态电容器阵列与射频功率放大器实现物理集成,提供目前最紧凑的形状系数供电系统。该设计的总封装尺寸与传统射频发电装置几乎相同,通用外罩内还装有匹配网络。该匹配网络设有 32 个调谐范围档,能够在宽阻抗范围内实现可靠的射频供电。

除了尺寸减小之外,还采用固态部件替代集成匹配网络中的机械驱动式真空电容器,从而提高了可靠性和可重复性 — 这二者都是长周期重复性工艺中的关键属性。通过取消传统的独立式真空电容器匹配网络,实现了极快速调谐和直接功率调节,降低了当今短周期、多步沉积工艺的时延。

优点

  • 利用更快的调谐速度,即使在最短的工艺步骤中也能实现稳定的性能
  • 采用集成封装结构,与单独发生器和匹配网络相比,可以降低成本
  • 减小多晶片室沉积系统的尺寸,节省昂贵的场地空间

特点

  • 32 调谐范围档,毫秒级切换速度,实现最短工序
  • 调谐范围档可控,根据客户工艺优化阻抗范围
  • 水冷设计,无需外部换气
  • 共激机 (CEX) 模式可同步在集群结构中的多个系统
  • RS-232、以太网和 EtherCAT 通信
  • 功率等级

    3 kW

  • 频率

    13.56 MHz

  • 可用接口

    RS-232、25 针模拟、以太网、EtherCAT

  • 交流输入

    208 V 公称;187 至 229 VAC

  • 工频

    47 至 63 Hz

  • 冷却

    水冷

  • 环境工作空气温度范围

    +5°C 至 +40°C

  • 冷却水温度范围

    +5°C 至 +35°C

  • 高级功能

    CEX

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