Zum Inhalt springen
Sprache
MyAE
Advanced Energy logo
Startseite Produkte Plasma Power Produkte Stromversorgungen

Stromversorgungen

Die in unzähligen Anwendungen eingesetzten Lösungen aus dem Bereich Precision Power™ von Advanced Energy bieten ausgezeichnete Prozesskontrolle und Stabilität für eine Vielzahl von Plasmaanwendungen. Unsere modernsten Technologien zur Energieversorgung ermöglichen seit mehr als 40 Jahren Prozessinnovationen. Dabei setzen wir gemeinsam mit unseren Partnern immer wieder neue Maßstäbe.

Stromversorgungen

eVoS LE Bias Solution

  • Ability to produce near mono-energetic ion energy distributions
  • Pulse capability with necessary input and output signals for synchronization
  • Integrated design and compact size eliminates need for matching network

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

Paramount HFi RF Power Delivery System

  • High reliability and reproducibility
  • Reduced footprint
  • Fast tuning and direct power regulation

Ausgewählte Produkte

Highlight

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

Datenblatt

Highlight

eVoS LE Bias Solution

Asymmetric Bias Waveform Generator for Direct Control of Substrate Voltage and Ion Energy

Datenblatt

Highlight

Navigator II Match Network

Rapid, Accurate, and Reliable Digitally-Tuned Matching

Datenblatt

Technische Dokumentation

Titel Typ
eVoS™ Family Brochure (18 MB) Broschüre
eVoS™ Family Brochure (18 MB) Broschüre
eVoS™ 非対称バイアス波形ジェネレータ (18 MB) Broschüre
RF Calibration Solutions (530 KB) Broschüre
eVos LE Data Sheet (3 MB) Datenblatt
eVoS ME Data Sheet (233 KB) Datenblatt
eVoS™ Datasheet (3 MB) Datenblatt
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) Weißbuch

Verwandte Anwendungen

Alle Anwendungen erkunden

Halbleiterindustrie

AE bietet präzise Plasma-Stromversorgungen mit modernen und ultra-schnellen Steuerungen für die Prozessinnovationen von Morgen an.
Halbleiterindustrie entdecken

Ätzen

Die genauen Plasma-Stromversorgungen von Advanced Energy ermöglichen eine exakte Steuerung von Ätzanwendungen bei hoher Prozesswiederholbarkeit und Prozessausbeute.
Ätzen entdecken

Beschichtung

AE bietet ein umfassendes Portfolio für die Halbleiterabscheidung an, darunter Lösungen für Plasma-Stromversorgungen, Temperaturmessung, Temperaturkontrolle und Waferkontrolle.
Beschichtung entdecken

Technische Videos

Close Popup

24/5 Support verfügbar

Holen Sie sich Expertenrat von unseren Ingenieuren

Wir sind bestrebt, unseren Kunden einen hervorragenden Kundendienst und technischen Support zu bieten. Mit Live-Chat und Telefon-Support können Sie jederzeit einen qualifizierten Techniker um Hilfe bitten.
Jetzt Unterstützung anfordern