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首页 产品 等离子电源产品 功率输出系统

功率输出系统

Advanced Energy 经过现场验证的 Precision Power™ 解决方案可在各种等离子电源应用中提供同类产品最佳的控制和稳定性。我们全面的功率输出技术 40 多年来不断引领工艺创新，并将与我们的合作伙伴一起继续推动技术向前发展。

功率输出系统

eVoS LE Bias Solution

  • Ability to produce near mono-energetic ion energy distributions
  • Pulse capability with necessary input and output signals for synchronization
  • Integrated design and compact size eliminates need for matching network

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

Paramount HFi RF Power Delivery System

  • High reliability and reproducibility
  • Reduced footprint
  • Fast tuning and direct power regulation

特色产品

特色

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

数据表

特色

eVoS LE Bias Solution

Asymmetric Bias Waveform Generator for Direct Control of Substrate Voltage and Ion Energy

数据表

特色

Navigator II Match Network

Rapid, Accurate, and Reliable Digitally-Tuned Matching

数据表

技术文档

标题 类型
eVoS™ 非対称バイアス波形ジェネレータ (18 MB) 手册
eVoS™ Family Brochure (18 MB) 手册
eVoS™ Family Brochure (18 MB) 手册
RF Calibration Solutions (530 KB) 手册
eVos LE Data Sheet (3 MB) 数据表
eVoS ME Data Sheet (233 KB) 数据表
eVoS™ Datasheet (3 MB) 数据表
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 白皮书

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