等离子体发生器

Navigator II FCi

为要求苛刻的高速匹配应用提供敏捷而精确的供电输出

Advanced Energy 的 Navigator II Fci 可通过精确的功率输出和调谐改善工艺控制。这款高速匹配网络针对功率敏感且持续时间短的关键等离子体工艺步骤进行优化。此外,传统上较长的步骤和较宽的调谐范围也能支持,这些步骤往常是由基于真空电容的匹配网络处理。Navigator II FCi 通过高速调谐实现了多项工艺控制的改进。

  • 缩短等离子体稳定时间
  • 避免工艺配方过渡间隙的等离子体消退

 

  • 概述
  • 技术参数
  • 服务和支持

概述

Navigator® II FCi 是一种微处理器控制的独立阻抗匹配网络。这款匹配网络采用了分立固态切换电容器阵列调节的调谐元件,从而在更宽的阻抗范围内实现快速精确的调谐。这些匹配器的形状、尺寸和调谐范围与传统匹配器类似,与传统匹配网络的典型秒级范围相比,可提供毫秒范围的调谐时间。这种高速匹配技术经过优化,适用于功率敏感且持续时间短的关键等离子体工艺步骤,例如原子层蚀刻 (ALE)。

当设置为全范围调谐模式时,Navigator FCi 可覆盖的阻抗空间与真空电容匹配器完全相同。由于固体电路设计紧凑,这款匹配器的占地面积与传统版本相仿。这款匹配器不含活动机械部件,避免了传统匹配固有的磨损和漂移。这有助于在各种不断变化的高难度等离子体工艺中实现更高的可靠性和可重复性。

优点

  • 在宽阻抗范围内实现快速精确的调谐
  • 提高可靠性和可重复性
  • 减少供电中断和等离子体“熄火”
  • 将技术用于短工序,例如 ALE 应用

特点

  • 13.56 MHz
  • CW 和脉冲操作
  • 输出测量传感器
  • 风冷
  • 输出电压

    最高 1200 Vrms

    最高直流偏压电压 1000 VDC

  • 输出电流

    最高 35 A RMS

  • 频率

    13.56 MHz

  • 射频功率输入

    输出最高 1500 W

    反射最高 150 W

  • 反射功率(匹配自动调谐)

    5 W 或小于 1% 前向功率(取较大值)

  • 线电压

    24 ±10% VDC

  • 线电流

    最高 3.5 A

  • 冷却

    风冷

  • 环境工作空气温度范围

    +5°C 至 +40°C

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜能。

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在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下,可以加快设备安装调试和工艺流程,或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。

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保修

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