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半导体和薄膜高温计
使用久经现场验证的温度测量技术。Advanced Energy 的 Sekidenko 系列光纤温度计可通过现场探头进行实时测量,进而优化过程控制。
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静电吸盘电源
几十年来,Advanced Energy 的 Trek 静电吸盘电源一直是适合半导体行业的一种主要产品。它们使您能够提高产量、几乎消除粘着晶圆和晶圆跳动问题并减小后部气体误差。
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低温黑体
Advanced Energy 的精确 Mikron 校准源可追溯至国家标准。我们通过测试、烧机时间和高温校准来帮助确保我们的黑体达到您所期望的质量和可靠性。
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