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RF-Plasma-Generatoren

Von verschiedenen Bauformen bis hin zur vollständigen digitalen Steuerung und hochdynamischen Prozesskontrolle - unsere RF-Generatoren sorgen stets für Prozessinnovationen. Wählen Sie aus einer breiten Portfolio von Modellen und nutzen Sie die einzigartigen Funktionen zur Konfiguration und Steuerung, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen.

RF-Plasma-Generatoren

eVerest RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

Ausgewählte Produkte

Highlight

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

Datenblatt

Ausgewählte Ressourcen

eVerest Brochure

Ressource anzeigen

Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

Ressource anzeigen

Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

Ressource anzeigen

Technische Dokumentation

Titel Typ
Apex and Paramount RF Generator Comparison (357 KB) Anwendungshinweis
Paramount Implanter Tools (324 KB) Anwendungshinweis
Precise Power Control in 3D Device Architectures (647 KB) Anwendungshinweis
Apex 3k5PIN Conversion (754 KB) Broschüre
eVerest Brochure (12 MB) Broschüre
eVerest™ RF電力供給システム (18 MB) Broschüre
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) Broschüre
RF Calibration Solutions (530 KB) Broschüre
Apex RF Data Sheet (504 KB) Datenblatt
Navigator II Digital Matching Networks Brochure (10 MB) Datenblatt
Paramount Plus Data Sheet (5 MB) Datenblatt
Paramount Series Data Sheet (4 MB) Datenblatt
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) Weißbuch

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