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E-Chuck

Seit Jahrzehnten sind die Trek E-Chuck-Versorgungen von Advanced Energy ein fester Bestandteil der Halbleiterindustrie. Durch den Einsatz einer Trek-Versorgung können Sie Ihren Durchsatz steigern, die Betriebszeit erhöhen, Probleme wie klebrige Wafer und Wafer-Popping praktisch eliminieren und auch Gasfehler auf der Rückseite reduzieren.

E-Chuck

Bipolar

  • Control parameters such as over-current, wafer-present, and wafer-clamped thresholds, clamp voltage, offset voltage and internal or external amplitude/offset control
  • Increases efficiency and throughput with custom clamp and declamp sequences and wave shapes
  • Eliminates sticky/popping wafer issues

Dual Polarity C Series

  • Fast-rise charging power delivered from an optimized design
  • Limited overshoot, typically less than 1% of high voltage setpoint, depending on the application
  • Fully-integrated dual output package

Technische Dokumentation

Titel Typ
Derating of Aluminum Electrolytic Capacitors in High Voltage Power Supplies Application Note (202 KB) Anwendungshinweis
Electrical Termination and Mounting Configurations of High Voltage Power Supplies Application Notes (307 KB) Anwendungshinweis
Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note (607 KB) Anwendungshinweis
Performing Isolation Tests on High Voltage Power Supplies Application Note (426 KB) Anwendungshinweis
Protection of High Voltage Power Supplies in Single and Multiple Applications Application Note (399 KB) Anwendungshinweis
Remote Control of High Voltage Power Supplies Application Note (686 KB) Anwendungshinweis
UltraVolt HVPS Polarity Reversing Configurations Application Note (325 KB) Anwendungshinweis
HVPS Overview Brochure (735 KB) Broschüre
Trek 645 Data Sheet (111 KB) Datenblatt
Trek 646 Data Sheet (116 KB) Datenblatt
UltraVolt Dual Polarity C Series Data Sheet (1 MB) Datenblatt

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