Startseite Anwendungen Halbleiterindustrie Implantation

Implantation

Mit der zunehmenden Komplexität der Chipdesigns steigt auch der Bedarf an einer präzisen Kontrolle der implantierten Ionen. Bei der Entwicklung von AE Power-Produkten liegt der Schwerpunkt auf der Optimierung von Effizienz und Leistungsdichte, um eine präzise Steuerung der Ionenenergie zu gewährleisten.

Präzisionsleistung für einwandfreie Ionenimplantation

Mit der zunehmenden Komplexität von Chipdesigns ist die Ionenimplantation ein entscheidender Schritt zur Regulierung der elektrischen Eigenschaften verschiedener Schaltungen. Die Stromversorgungsprodukte von Advanced Energy optimieren Effizienz und Leistungsdichte für eine präzise Steuerung der Ionenenergie. Unser Portfolio an AC/DC- und DC/DC-Frontend-Lösungen deckt einen großen Ausgangsleistungsbereich ab, mit Optionen für 12 und 48 V Ausgangsspannung. Außerdem bieten wir eine Vielzahl von Leistungsmodulen nach Industriestandard für die Leiterplattenmontage an, die von OEMs und Systemintegratoren in großem Umfang verwendet werden.

Ausgewählte Produkte

Highlight

Paramount RF Generator

Industry-Leading, Repeatable Power Delivery for Core Plasma Applications

Datenblatt

Highlight

Paramount Plus RF Generator

Multi-Level Pulsing and Pulse Waveform Control for Emerging Plasma Applications

Datenblatt

Highlight

Navigator II Match Network

Rapid, Accurate, and Reliable Digitally-Tuned Matching

Datenblatt

Highlight

Greater than 1 kW

Advanced Energy is a leader in high-power solutions, providing a range of products for applications that require greater than 1 kW power.

Paramount RF Generator Datenblatt	RF Plasma Generators	Industry-Leading, Repeatable Power Delivery for Core Plasma Applications
Paramount Plus RF Generator Datenblatt	RF Plasma Generators	Multi-Level Pulsing and Pulse Waveform Control for Emerging Plasma Applications
Navigator II Match Network Datenblatt	RF Match Networks	Rapid, Accurate, and Reliable Digitally-Tuned Matching
Greater than 1 kW		Advanced Energy is a leader in high-power solutions, providing a range of products for applications that require greater than 1 kW power.
600 W and Above		Advanced Energy powers industries with high voltage amplifiers designed to go up to 50 kV, reaching 600 W.
Bipolar		Improve Throughput and Virtually Eliminate Sticky Wafer and Wafer Popping Issues

Weitere Produkte anzeigen

Ausgewählte Ressourcen

Implantation

Präzisionsleistung für einwandfreie Ionenimplantation