콘텐츠로 건너뛰기
언어
MyAE
Advanced Energy logo
홈 제품 플라즈마 전원 제품 RF 플라즈마 제너레이터

RF Plasma Generator

다양한 마운트 및 크기부터 전체 디지털 제어 및 동적 플라즈마 응답에 이르기까지 당사의 RF 제너레이터는 공정 혁신을 촉진합니다. 다양한 모델 중에서 선택하고 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 구성 및 제어를 위한 해당 기능을 사용할 수 있습니다.

RF Plasma Generator

eVerest RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

주요 제품

추천

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

데이터 시트

주요 리소스

eVerest Brochure

리소스 보기

Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

리소스 보기

Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

리소스 보기

기술 문서

제목 유형
Apex and Paramount RF Generator Comparison (357 KB) 애플리케이션 노트
Paramount Implanter Tools (324 KB) 애플리케이션 노트
Precise Power Control in 3D Device Architectures (647 KB) 애플리케이션 노트
Apex 3k5PIN Conversion (754 KB) 브로셔
eVerest Brochure (12 MB) 브로셔
eVerest™ RF電力供給システム (18 MB) 브로셔
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) 브로셔
RF Calibration Solutions (530 KB) 브로셔
Apex RF Data Sheet (504 KB) 데이터 시트
Navigator II Digital Matching Networks Brochure (10 MB) 데이터 시트
Paramount Plus Data Sheet (5 MB) 데이터 시트
Paramount Series Data Sheet (4 MB) 데이터 시트
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 백서

관련 애플리케이션

모든 애플리케이션 살펴보기

반도체

AE는 차세대 공정 혁신을 위해 정교한 고속 제어 기능을 갖춘 정밀 플라즈마 전력 공급을 제공합니다.
반도체 살펴보기

증착

AE는 플라즈마 전력 공급, 온도 측정, 온도 제어 및 웨이퍼 제어 솔루션을 포함하여 반도체 증착을 위한 포괄적인 포트폴리오를 제공합니다.
증착 살펴보기

식각

Advanced Energy의 고정밀 플라즈마 전력 공급 시스템은 높은 재연성과 수율을 위해 식각 애플리케이션을 정밀하게 제어합니다.
에치 살펴보기

기술 동영상

Close Popup

24시간 (24/5) 고객 지원

전문 엔지니어의 기술지원을 받아보세요.

저희는 고객에게 우수한 고객 서비스와 기술 지원을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 실시간 채팅 및 전화 지원을 통해 언제든지 자격을 갖춘 엔지니어에게 도움을 요청할 수 있습니다.
지금 지원 받기