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Elektronenstrahl-Inspektion
Da sich die Industrie auf immer kleinere Knotenpunkte zubewegt, bietet AE fortschrittliche Lösungen für eine höhere Auflösung bei der Elektronen-strahlprüfung.
Präzise Leistungssteuerung für genaue Elektronenstrahlinspektion
Bei der Herstellung von Logik- und Speicherbausteinen, die eine hohe Empfindlichkeit erfordern, bieten Elektronenstrahlsysteme im Vergleich zu anderen Techniken eine höhere Auflösung. AE-Lösungen bieten eine präzise, zuverlässige Leistung, um die Erkennung von Defekten zu gewährleisten, die anderen Systemen möglicherweise entgehen.
