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首页应用领域半导体电子束检测

电子束检测

行业正向着越来越小的节点进军，而 AE 可为电子束检测提供先进的高分辨率解决方案。

面向精确电子束检测的精密功率控制

在需要高灵敏度的逻辑和存储器制造工艺中，电子束系统可提供优于其他技术的分辨率。AE 解决方案的性能精确可靠，可确保检出其他系统可能会忽略的缺陷。

特色产品

特色

EG353 Series

35 kV High Voltage Power Supply for Scanning Electron Microscopes

特色

Bipolar

Improve Throughput and Virtually Eliminate Sticky Wafer and Wafer Popping Issues

特色资源

Semiconductor Industry: Impacting Trends Survey

Future of Auto Travel Infographic

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沉积

AE 为半导体沉积提供全面的产品组合，包括等离子电源输送、温度测量、温度控制和晶圆控制解决方案。

蚀刻

Advanced Energy 的高精度等离子体功率传输系统可对蚀刻应用进行精确控制，从而实现高重复性和高产量。

注入

AE 功率产品的设计专注于优化效率和功率密度，以确保离子能量的精确控制。

剥离

在等离子蚀刻过程中，精确控制功率对于确保完美剥离晶圆表面、杜绝任何潜在缺陷至关重要。