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전자빔 검사
갈수록 소형화되는 노드 기술에 맞춰 AE는 전자빔 검사에서 뛰어난 해상도를 위한 고급 솔루션을 제공합니다.
정확한 전자빔 검사를 위한 정밀한 전력 제어
고감도 기능이 요구되는 로직 및 메모리 제조 공정에서 전자빔 시스템은 다른 기술에 비해 뛰어난 해상도를 제공합니다. AE 솔루션은 다른 시스템이 놓칠 수 있는 결함을 감지할 수 있도록 정확하고 안정적인 성능을 제공합니다.
