.svg){kind=logo}
電子ビーム検査
Have a question?
Ask an Expert
業界が更なる微細化ノードを目指す中、AEは電子ビーム検査において優れた分解能を実現する先進的なソリューションを提供しています。
正確な電子ビーム検査のための精密出力制御
高感度が要求されるロジックやメモリの製造プロセスにおいて、電子ビームシステムは他の技術に比べて優れた分解能を提供します。AEソリューションは、精密で信頼性の高い性能を提供し、他のシステムでは見逃す可能性のある欠陥を確実に検出します。
