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Solvix® DC and Pulsed Power Supply

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3 to 30 kW DC and Pulsed-DC Power Supplies

Solvix DC and pulsed-DC power supplies for metallic and reactive sputtering provide precise control and proven reliability—backed by AE’s worldwide support network. Offering a wide range of power and frequency levels, pulsing, and multiple communications options, they offer a rugged and cost-effective solution for your unique process.

Eigenschaften

•    Best-in-class arc handling
•    DC and pulsed-DC units
•    Current, power, and voltage regulation modes
•    Flexible architecture
•    Air cooling
•    Multiple units configurable for high-power requirements
•    High peak-to-peak voltages (high-frequency models)
•    Patented tapless wide output load impedance range (medium-frequency models)

Vorteile

•    Proven reliability, accuracy, and repeatability
•    Worldwide support network
•    Reduced substrate damage and process contamination
•    Adaptability to a wide range of process requirements
•    High throughput
 

Spezifikationen

Kühlung: Air
Ausgangsfrequenz (MHz, kHz): Pulsing and non-pulsing options available. Please refer to Datasheet.
Eingangsspannung (V): 400, 480 VAC
Leistungsstufe (kW): Multiple options available. Please refer to Datasheet.
Rack Breite: Full Rack
Höhe (Zoll): 4U, 6U
Kommunikationsschnittstelle: Analog, Profibus, EtherCat, RS-485
Anwendungen verarbeiten: Hard coating
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Code added on 30 Aug 24

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