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Remote Plasma Source

Advanced Energy의 원격 플라즈마 소스의 높은 기능성과 탁월한 신뢰성으로 제조 및 어베이트먼트(abatement) 공정을 강화하세요. 맞춤화된 화학 물질을 제공하고 작동 범위를 넓히며 공정 속도를 높일 수 있습니다. 간소화된 설계로 제공되는 당사의 정교한 옵션을 통해 더 높은 수준의 효율성과 생산성을 달성할 수 있습니다.

Remote Plasma Source

Litmas

  • The Litmas RPS efficiently delivers reactive gas species to enable the effective abatement of PFC gases with multiple options for chamber materials
  • Wide operating window using AE's patented LitmasMatch™ solid-state power-delivery topology for maximum process development flexibility
  • High destructive rate efficiency (DRE) and high plasma density enabling compatibility with a broad range of process chemistries

MAXstream Remote Plasma Source

  • Five models: MAXstream 300 for low flow applications and MAXstream 600, 800, 1000, 1200 for higher flow applications
  • Highly reliable RPS maximizes tool uptime
  • Drop-in capability with traditional RPS units for an easy design upgrade path to higher performance and reliability

Rapid Ox Remote Plasma Source

  • Quartz liner makes it ideal for photoresist ashing or carbon chamber clean processes
  • Variable frequency matching provides a range of plasma impedance operation, controlled by varying gas chemistry, pressure, and power set point
  • Improved thermal management helps ensure long chamber lifetime

Xstream Remote Plasma Source

  • Highly reliable RPS maximizes tool uptime
  • Effective reactive species transportation to process chamber for improved performance
  • Transformer coupled plasma (TCP) source with integrated Active Match Network (AMN)

주요 제품

추천

MAXstream Remote Plasma Source

Reliable, High-Performance Remote Plasma Source for Chamber Clean Applications

데이터 시트

기술 문서

제목 유형
采用主动匹配网络的XSTREAM远程等离子体源 (1 MB) 브로셔
RAPID OX (812 KB) 브로셔
MAXstream 300 Data Sheet (228 KB) 데이터 시트
MAXStream 600, 800, 1000, and 1200 Data Sheet (213 KB) 데이터 시트
Rapid OX RPS Data Sheet (402 KB) 데이터 시트
Xstream RPS Data Sheet (891 KB) 데이터 시트
3 Tips for Sourcing Chamber Cleaning RPS Systems (4 MB) 인포그래픽
Advanced Ignition RPS (938 KB) 백서
RPS Chamber Anodization (499 KB) 백서
RPS Chamber Cleaning System Impact on Cost of Ownership (856 KB) 백서

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