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식각
정교한 고정밀 플라즈마 전력 공급 시스템을 갖춘 Advanced Energy는 식각 애플리케이션을 위한 기술의 선두에 서 있습니다. 당사의 솔루션은 최첨단 혁신을 활용하여 식각 공정 전반에 걸쳐 정확한 전력 공급 및 제어를 제공합니다.
향상된 공정 제어를 위한 포괄적인 솔루션 포트폴리오
AE의 플라즈마 전원 공급 장치는 각 에칭 애플리케이션의 고유한 요구 사항에 맞게 맞춤화됩니다. 당사의 포트폴리오에는 RF, DC 및 pulsed-DC 제품, 임피던스 매칭 네트워크, 원격 플라즈마 소스, 정교한 데이터 수집, 시각화 및 분석 플랫폼이 포함됩니다. 최첨단 기술로 구축된 이러한 솔루션은 정확하고 반복 가능한 전력 공급을 보장하여 뛰어난 공정 정밀도와 수율을 제공합니다.
참조 문서:
