.svg){kind=logo}
증착
AE의 플라즈마 전원 공급, 온도 측정, 온도 제어 및 웨이퍼 제어 솔루션의 정밀한 성능과 정교한 제어는 반복성과 수율을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 특정 공정 요구 사항을 충족하기 위해 광범위한 RF, DC 및 pulsed-DC 전원 공급 시스템과 다양한 매칭 네트워크를 제공합니다.
향상된 프로세스 제어를 위한 포괄적인 솔루션 포트폴리오
Advanced Energy의 RF 플라즈마 전력 공급 및 고속 정합 기술을 통해 까다로운 PECVD 및 PEALD 증착 공정에 최적화된 맞춤형 성능을 구현할 수 있습니다. 당사의 DC 기술은 PVD(스퍼터링) 및 ECD 증착 공정에 구성 가능한 아크 응답, 전력 정확도 및 공정 재연성을 제공합니다. 또한 제조 공정의 다양한 측면에서 정밀도를 위한 온도 모니터링, 온도 제어 및 웨이퍼 제어 기술도 제공합니다.
