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Luxtron® M-1200 Fiber Optic Temperature Converter
Active
High-accuracy temperature measurement in a compact design
Smaller, more accurate, and with a broader measurement range (-200 to 450°C ) than many other contact temperature sensing devices, the Luxtron M-1200 expands process development possibilities. Its ultra-fast EtherCAT(R) communication, low-noise electronics, flexible probe configurations, and compact form factor streamline integration into complex semiconductor tools.
특징
- Wide supported temperature range (-200 to 450°C )
- Low noise level with fast response rate
- Five channels in a single converter
- EtherCAT communications
- DIN rail mounting
혜택
- Contact measurement to minimize the thermal offset
- Reduced form factor for easy installation and integration
- High accuracy and extreme temperature control for a variety of etch and wafer fab processes
- Support from experienced applications engineers to customize probes for OEMs
사양
| 작동 온도 범위(°C): | 0 to 60 |
|---|---|
| 채널 수: | Up to 5 |
| 정확도: | ± 0.15 °C |
| 소음(°C): | 0.1 °C |
| 측정 범위: | -200 to 450 |
| 통신 인터페이스: | EtherCAT |
| 판독 속도(Hz): | 2 to 50 |
| 센서 개수: | Up to 5 |
기술 문서
Product Information Documents
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