等离子体发生器

Pinnacle 3000

行业内领先的直流电源技术 Pinnacle 3000 W 系列

专为精度和工艺可重复性要求极高的低功率应用而设计的坚固、紧凑型直流发电机。

  • 利用小于 6 mJ/kW 的输出电弧能量实现优异的薄膜质量
  • 连续运行一致性:优于 0.1% 的可重复性
  • 宽过程范围 — 阻抗为 370 至 1000 VDC
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

Advanced Energy 的 Pinnacle 3000 直流电源提供极高的效率和功率因数,从而降低运行和安装成本。Pinnacle 突出的工艺稳定性和控制能力,可在工艺应用和偏压的应用中显著减少差异和提高良品率。

优点

  • Pinnacle 系列经过现场验证的卓越性能和可靠性 
  • 灵活通用 — 同时适用于工艺和偏压应用 
  • 快速的可配置电弧响应 — 电弧损坏更低 
  • 精密的控制工艺 

特点

  • 极高的效率和功率因数
  • 小巧紧凑 — 3000 W 系列一套 2U、½ 机架 
  • 宽广范围的单抽头设计 
  • 仅提供 Profibus 和 RS-232 串行通信 400 VAC 输入 
  • 低存储能量 — 每 1 kW 输出小于 6 mJ 
  • 功率大于 15% 时输出可重复性为 ±0.1% 
  • Power

    3000 W

  • Voltage Range

    Full power from 370 to 1000 VDC

  • ARC Energy

    < 6 mJ/kW

  • AC Input

    400 VAC +/- 10%

  • Communication I/O

    Profibus with on/off via analog port

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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