等离子体发生器
Pinnacle 3000
行业内领先的直流电源技术 Pinnacle 3000 W 系列
专为精度和工艺可重复性要求极高的低功率应用而设计的坚固、紧凑型直流发电机。
- 利用小于 6 mJ/kW 的输出电弧能量实现优异的薄膜质量
- 连续运行一致性：优于 0.1% 的可重复性
- 宽过程范围 — 阻抗为 370 至 1000 VDC
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
Advanced Energy 的 Pinnacle 3000 直流电源提供极高的效率和功率因数，从而降低运行和安装成本。Pinnacle 突出的工艺稳定性和控制能力，可在工艺应用和偏压的应用中显著减少差异和提高良品率。
优点
- Pinnacle 系列经过现场验证的卓越性能和可靠性
- 灵活通用 — 同时适用于工艺和偏压应用
- 快速的可配置电弧响应 — 电弧损坏更低
- 精密的控制工艺
特点
- 极高的效率和功率因数
- 小巧紧凑 — 3000 W 系列一套 2U、½ 机架
- 宽广范围的单抽头设计
- 仅提供 Profibus 和 RS-232 串行通信 400 VAC 输入
- 低存储能量 — 每 1 kW 输出小于 6 mJ
- 功率大于 15% 时输出可重复性为 ±0.1%
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Power
3000 W
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Voltage Range
Full power from 370 to 1000 VDC
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ARC Energy
< 6 mJ/kW
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AC Input
400 VAC +/- 10%
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Communication I/O
Profibus with on/off via analog port
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。