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ホーム 製品紹介 高電圧電源

高圧電源

アドバンスドエナジーの高電圧製品は、高性能電源を特徴としています。各製品ラインには、お客様の用途のニーズを満たす様々なオプションや付属品があります。カスタムソリューションもご利用いただけます。

高圧電源の種類

カスタム品

静電チャック

アドバンスドエナジーのTrek静電チャック電源は数十年にわたり半導体業界の定番となっています。

高電流

数多くの高電圧ソリューションの一部として、Advanced Energyは様々な用途向けの高電流ソリューションを提供しています。当社の製品ラインナップには、最大出力定格10kWの高電流DC-DCコンバータやAC-DC電源が含まれます。

低電流

アドバンスドエナジーは高圧低電流装置の製品ラインナップを提供しています。

モジュール

アドバンスドエナジーは、安定性の高いモジュールを活用し、様々な用途に電力を供給します。

UltraVolt高電圧基板実装型

当社のHiTek、Trek、UltraVolt製品ラインナップは柔軟性と高い信頼性を備え、優れた電源品質を提供し、システム全体の性能を向上させます。

注目製品

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Trek 645 Series

Software-Driven Electrostatic Chuck Supply, Output Voltage Range 0 to ±2 kV

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Trek 605A Series

High Voltage Reference Supply for Precise Control of Output Voltages in Fixed or Variable Modes

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MSP Series

Ultra-Low Ripple, Multi-Purpose, Precision Mass Spectrometry Power Supplies

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OLS10K Series

10 kW AC-to-HVDC Power Supplies Built for 24 x 7 Processes

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関連アプリケーション

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注入

AEパワー製品は、イオンエネルギーを正確に制御するために、効率と出力密度の最適化に重点を置いて設計されています。
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電子ビーム検査

アドバンスドエナジーは、電子ビーム検査システムに安定した信頼性の高い電力を供給します。この厳密な制御により、高精度の欠陥識別が可能になり、メモリやロジックデバイスが厳しい仕様に適合することが保証されます。
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成膜

AEは、プラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウェハ制御ソリューションなど、半導体成膜のための総合的なポートフォリオを提供しています。
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エッチング

アドバンスドエナジーの高精度プラズマパワーデリバリーシステムは、高い再現性と歩留まりを実現するために、エッチングプロセスを厳密に制御します。
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