等离子体发生器

PDX

可靠性业内领先、成熟强大的中频电源

PDX 系列采用中频电源,可提升过程灵活性并优化控制。

  • 可选功率范围为 1250 至 8000 W
  • 宽广的工作频率范围
  • 远程操作功能
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

需要一款高效、紧凑且易于集成的电源?PDX® 系列可提供极其精确、可重复性极高的工艺控制,帮助您确保工艺的一致性和高产能。其工作频率范围宽广,可在诸多应用中实现最优化控制。

PDX 低功率 (LP) 系列分为 1250 W 和 1400 W 等版本,PDX 大功率 (HP) 系列则分为 5000 W 和 8000 W 等版本。

优点

  • 提高工艺灵活性
  • 提高产量
  • 优化工艺控制
  • 确保高度可重复性
  • 易于集成

特点

  • 正弦射频输出,实现低谐波失真
  • 低 EMI(电磁干扰)/RFI(射频干扰)
  • 精密调节的输出功率
  • 宽广的频率范围,用于优化工艺控制

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜力。

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