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- 技术参数
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- 服务和支持
概述
灵活多用途的变频 LFGS 发生器（1250 W，40 至 500 kHz）适用于各种不同的半导体和通用等离子体工艺应用，包括溅射、反应离子蚀刻、等离子体沉积、聚合反应和表面处理。它采用紧凑的 19 英寸机架安装式风冷设计，安装过程简单，可节省宝贵空间。LFGS 电源采用半桥式 D 类放大器设计，具有市场上最低的反射功率。
优点
- 支持多种不同应用
- 具有市场上最低的反射功率
- 易于安装
- 高效利用宝贵的空间
特点
- 变频
- 风冷
- 改进的操作菜单
- 有效前面板
- 脉冲模式（0 至 10 kHz）CEX 操作模式 2 个模拟用户端口
- RS-232、以太网和 Profibus 通信
全球服务和支持
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