等离子体发生器

LFGS

为等离子体加工量身定制的经济型中频电源

  • 宽广的输出频率范围
  • 紧凑型设计
  • 灵活的通信协议
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

灵活多用途的变频 LFGS 发生器(1250 W,40 至 500 kHz)适用于各种不同的半导体和通用等离子体工艺应用,包括溅射、反应离子蚀刻、等离子体沉积、聚合反应和表面处理。它采用紧凑的 19 英寸机架安装式风冷设计,安装过程简单,可节省宝贵空间。LFGS 电源采用半桥式 D 类放大器设计,具有市场上最低的反射功率。

优点

  • 支持多种不同应用
  • 具有市场上最低的反射功率
  • 易于安装
  • 高效利用宝贵的空间

特点

  • 变频
  • 风冷
  • 改进的操作菜单  
  • 有效前面板
  • 脉冲模式(0 至 10 kHz)CEX 操作模式 2 个模拟用户端口
  • RS-232、以太网和 Profibus 通信

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜力。

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