等离子体发生器
HiLight
一款经济、紧凑、易于安装的低功率射频平台
紧凑的轻型风冷式 HiLight™ 射频电源非常适合低功率板载应用，适用于 13.56 MHz 等离子体和 1 或 2 MHz 工艺。
- 经济
- 灵活的单相输入
- 紧凑型设计
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
HiLight™ 电源使用 230 VAC 单向进电设计，可为 50 Ω 非反应负载提供高达 600 W 的功率。HiLight 射频电源提供准确的功率调节并集成内部保护限制，实现安全和可靠的运行。这款射频电源外形紧凑且轻便，可以直接安装到机台上或真空腔内。HiLight 电源通过一个 25 引脚模拟用户端口进行控制。
优点
- 易于安装在非 19 英寸机架中
- 以连续波或脉冲模式提高准确度和可靠性
特点
- 紧凑且质轻的鞋盒式设计
- 风冷
- 连续波和脉冲模式
- 相位同步 (CEX) 和脉冲调节
- 模拟用户端口
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功率
200、300 和 600 W
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频率
200 W
0.925 MHz
VCO 范围从 0.902 MHz 至 0.948 MHz，可实现最佳负载自动调谐
300 W、600 W
13.56 MHz
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可用接口
25 引脚用户端口
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交流输入
230 VAC（187 至 253 VAC）
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工频
50/60 Hz
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冷却
风冷
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工作环境温度范围
+5°C 至 +35°C
+41°F 至 +95°F
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜力。