等离子体发生器

HiLight

一款经济、紧凑、易于安装的低功率射频平台

紧凑的轻型风冷式 HiLight™ 射频电源非常适合低功率板载应用,适用于 13.56 MHz 等离子体和 1 或 2 MHz 工艺。

  • 经济
  • 灵活的单相输入
  • 紧凑型设计
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

HiLight™ 电源使用 230 VAC 单向进电设计,可为 50 Ω 非反应负载提供高达 600 W 的功率。HiLight 射频电源提供准确的功率调节并集成内部保护限制,实现安全和可靠的运行。这款射频电源外形紧凑且轻便,可以直接安装到机台上或真空腔内。HiLight 电源通过一个 25 引脚模拟用户端口进行控制。

优点

  • 易于安装在非 19 英寸机架中
  • 以连续波或脉冲模式提高准确度和可靠性

特点

  • 紧凑且质轻的鞋盒式设计
  • 风冷 
  • 连续波和脉冲模式
  • 相位同步 (CEX) 和脉冲调节
  • 模拟用户端口
  • 功率

    200、300 和 600 W

  • 频率

    200 W

    0.925 MHz

    VCO 范围从 0.902 MHz 至 0.948 MHz,可实现最佳负载自动调谐

    300 W、600 W

    13.56 MHz

  • 可用接口

    25 引脚用户端口

  • 交流输入

    230 VAC(187 至 253 VAC)

  • 工频

    50/60 Hz

  • 冷却

    风冷

  • 工作环境温度范围

    +5°C 至 +35°C

    +41°F 至 +95°F

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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