静电吸盘电源

提高产量并几乎消除粘着晶圆和晶圆跳动问题

几十年来，Advanced Energy 的 Trek 静电吸盘电源一直是适合半导体行业的一种主要产品。它们使您能够提高产量、几乎消除粘着晶圆和晶圆跳动问题并减小后部气体误差。