检测
检测
实现严苛要求应用和前沿的器件几何图形。
在关键晶圆应用领域，Advanced Energy 是一支创新力量。凭借高压电源和控制解决方案，我们已经开发超过 100 套定制系统，可支持要求苛刻的应用和前沿的器件几何图形。
我们的平台架构和开发可为您快速定制解决方案，帮助降低技术项目风险，改善工艺技术和性能。快速开发超越技术要求的产品，同时提高效率。
进一步了解我们的半导体制造工艺，找到适合您需求的解决方案。
挑战
基本所有的半导体设备（集成电路）制造应用均部署有检测流程，目前的分辨率需求已达到一纳米级别。您需要尽力提高器件速度并降低功耗。然而，这些性能要求会带来特殊的检测挑战，包括处理高宽比较大的特征和复杂的三维架构。而随着“致命缺陷”的尺寸越来越小，发现和分类缺陷的能力变得愈发重要。
我们的解决方案
我们的技术可实现最佳的电源纹波、输出稳定性、输出精度和温度系数主动校正性能。获得您需要的灵活性以快速响应不断变化的应用需求。我们的检测流程解决方案灵活可靠。
优势
- 为每个检测应用提供最大的高压输出范围
- 高功率密度意味着电源尺寸更小，可以轻松集成到设备中
- 利用 Direct Drive Digital Control™ (D3C™) 技术和控制来优化性能
- 输出纹波低，稳定性高，分辨率可达 1 n
- 通过实时监测和诊断揭示工艺洞察
