电子束检测
行业正向着越来越小的节点进军，而 AE 可为电子束检测提供先进的高分辨率解决方案。
面向精确电子束检测的精密功率控制
在需要高灵敏度的逻辑和存储器制造工艺中，电子束系统可提供优于其他技术的分辨率。AE 解决方案的性能精确可靠，可确保检出其他系统可能会忽略的缺陷。
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在需要高灵敏度的逻辑和存储器制造工艺中，电子束系统可提供优于其他技术的分辨率。AE 解决方案的性能精确可靠，可确保检出其他系统可能会忽略的缺陷。
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