温度测量产品

Impac IN 5/9 plus

用于 0°C 至 1500°C 蓝宝石和蓝宝石晶圆温度测量的数字高温计

Advanced Energy 的 Impac IN 5/9 plus 高温计专为对蓝宝石和蓝宝石晶圆进行非接触温度测量而设计。它配备模拟输出和数字接口。

  • 模拟输出
  • 数字接口 RS232
  • 激光瞄准光
  • 紧凑
  • 可调曝光时间
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 附件
  • 服务和支持
  • 经销商

概述

Impac<sup>®</sup> IN 5/9 plus 高温计专为对蓝宝石和蓝宝石晶圆进行非接触温度测量而设计。可以远程配置温度子范围并调整参数。配备模拟输出和数字接口,可以在计算机上存储温度值和数据。可针对不同应用提供不同的光学部件。

优点

  • 调整曝光时间
  • 远程配置温度子范围和高温计参数
  • 使用激光瞄准光进行精确对准
  • 针对不同应用使用不同的光学部件
  • 通过数字接口将数据存储到计算机中

特点

  • 采用输出数字线性化,精度高
  • 模拟输出 0 或 4 至 20 mA
  • 数字接口 RS232
  • 激光瞄准光
  • 可调曝光时间
  • 紧凑型设计

所选规格如下所示。有关更多规格,请参见产品数据手册。

  • 温度范围

    IN 5/9 plus

    0°C 至 1500°C
    可在温度范围内调节至任意量程,最小量程为 51°C

  • 测量

    光谱范围

    8 至 9.7 µm

    测量不确定性

    读数的 0.6% °C 或 3°C(Tamb.= 15°C 至 30°C)
    读数的 1% °C 或 5°C(Tamb.= 0°C 至 5°C 或 30°C 至 63°C)
    (ε = 1,t90 = 1 S,Tamb. = 常量)
    取较大值;仪器必须在恒定环境温度下保持至少 60 分钟,且需要连接到电源

    可重复性

    读数的 0.3% °C 或 0.6°C(ε = 1 时,t90= 1 s)
    取较大值。仪器必须在恒定环境温度下保持至少 30 分钟。

    曝光时间 t90

    0.18 s;可在高温计中调节:0.5 s、1 s、2 s、5 s,可通过接口调节:0.5 s、1 s、2 s、5 s、10 s、30 s

    辐射率 ε

    0.2 至 1.2,能以 0.01 步长在仪器中(离线模式 - 可调范围 0.2 至 1.0)或通过 InfraWin 软件(在线模式)进行切换

  • 光学

    瞄准

    激光瞄准光

    光学部件

    硫化锌镜头 (ZnS),6 个固定光学部件

    距离比 (FOV)

    60:1(1.7 毫米)

  • 接口和通信

    连接

    12 针连接器

    参数

    模拟输出

    可调范围 0 至 20 mA 或 4 至 20 mA(线性)

    数字接口

    RS232(可根据要求提供 RS485)

  • 环境

    防护等级

    IP65 (DIN 40050)

    环境温度

    0°C 至 63°C

    存放温度

    -20°C 至 70°C

    相对湿度

    无冷凝条件

    重量

    约 0.41 千克

    外壳

    不锈钢

    通过 CE 认证

    符合欧盟关于电磁抗扰度的指令

  • 电气

    电源

    24 V DC(18 至 30 V Dc)公称,纹波必须小于 0.5 V

    功耗

    最大 70 mA

    负载

    24 V 时最大 500 Ω(18 V 时最大 200 Ω)

    隔离

    电源、模拟输出和数字接口相互电隔离

  • 典型应用

    • 蓝宝石和蓝宝石晶圆温度测量

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

附件

Electrical Accessory

Impac Other Electrical

Other Electrical Accessories Compatible With Impac Pyrometers

Product Display Option Accessory

Impac DA 4000

Digital LED Display With 2-Wire Supply Voltage

Product Accessory

Impac Mechanical Accessories

Other Mechanical Accessories Compatible With Impac Pyrometers

Product Accessory

Impac MultiTempLogger

Multi-Channel Measuring Data Logging Software Supplementary downloads only; contact sales for software

Product Accessory

Impac Power Supplies

Impac Pyrometer DC and AC Power Supply Units

Product Display Option Accessory

Impac PI 6000 Controller

Extremely Fast, Digital, and Programmable PID Controller

Product Display Option Accessory

Impac DA 6000-N

LED digital display with RS232 or RS485 interface for digital pyrometers

Product Display Option Accessory

Impac DA 6000

Digital LED Display With 2-Wire Supply Voltage

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