温度测量产品
Impac IN 5/9 plus
用于 0°C 至 1500°C 蓝宝石和蓝宝石晶圆温度测量的数字高温计
Advanced Energy 的 Impac IN 5/9 plus 高温计专为对蓝宝石和蓝宝石晶圆进行非接触温度测量而设计。它配备模拟输出和数字接口。
- 模拟输出
- 数字接口 RS232
- 激光瞄准光
- 紧凑
- 可调曝光时间
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 附件
- 服务和支持
- 经销商
概述
Impac<sup>®</sup> IN 5/9 plus 高温计专为对蓝宝石和蓝宝石晶圆进行非接触温度测量而设计。可以远程配置温度子范围并调整参数。配备模拟输出和数字接口，可以在计算机上存储温度值和数据。可针对不同应用提供不同的光学部件。
优点
- 调整曝光时间
- 远程配置温度子范围和高温计参数
- 使用激光瞄准光进行精确对准
- 针对不同应用使用不同的光学部件
- 通过数字接口将数据存储到计算机中
特点
- 采用输出数字线性化，精度高
- 模拟输出 0 或 4 至 20 mA
- 数字接口 RS232
- 激光瞄准光
- 可调曝光时间
- 紧凑型设计
所选规格如下所示。有关更多规格，请参见产品数据手册。
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温度范围
IN 5/9 plus
0°C 至 1500°C
可在温度范围内调节至任意量程，最小量程为 51°C -
测量
光谱范围
8 至 9.7 µm
测量不确定性
读数的 0.6% °C 或 3°C（Tamb.= 15°C 至 30°C）
读数的 1% °C 或 5°C（Tamb.= 0°C 至 5°C 或 30°C 至 63°C）
（ε = 1，t90 = 1 S，Tamb. = 常量）
取较大值；仪器必须在恒定环境温度下保持至少 60 分钟，且需要连接到电源可重复性
读数的 0.3% °C 或 0.6°C（ε = 1 时，t90= 1 s）
取较大值。仪器必须在恒定环境温度下保持至少 30 分钟。曝光时间 t90
0.18 s；可在高温计中调节：0.5 s、1 s、2 s、5 s，可通过接口调节：0.5 s、1 s、2 s、5 s、10 s、30 s
辐射率 ε
0.2 至 1.2，能以 0.01 步长在仪器中（离线模式 - 可调范围 0.2 至 1.0）或通过 InfraWin 软件（在线模式）进行切换
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光学
瞄准
激光瞄准光
光学部件
硫化锌镜头 (ZnS)，6 个固定光学部件
距离比 (FOV)
60:1（1.7 毫米）
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接口和通信
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环境
防护等级
IP65 (DIN 40050)
环境温度
0°C 至 63°C
存放温度
-20°C 至 70°C
相对湿度
无冷凝条件
重量
约 0.41 千克
外壳
不锈钢
通过 CE 认证
符合欧盟关于电磁抗扰度的指令
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电气
电源
24 V DC（18 至 30 V Dc）公称，纹波必须小于 0.5 V
功耗
最大 70 mA
负载
24 V 时最大 500 Ω（18 V 时最大 200 Ω）
隔离
电源、模拟输出和数字接口相互电隔离
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典型应用
- 蓝宝石和蓝宝石晶圆温度测量
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
