远程等离子体源
Xstream
性能卓越的腔体清洁型高质量远程等离子体源
Xstream 远程等离子体源 (RPS) 具有很长的设计使用寿命，性能超越竞争产品，是腔体清洁的理想之选。它采用专利点火方式和算法，以及专有铝合金硬质阳极氧化处理腔体。
- 经过验证的性能：性能经过现场验证，可靠性无与伦比
- 独特的点火方式：通过可靠的等离子体点火缩短机台停机时间
- 无需昂贵的涂层：定制的合金和先进的阳极氧化可确保更长的腔体寿命
- 快速腔体清洁：供气解离速率高，确保高效运行
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
高效的 Xstream<sup>®</sup> RPS 可对大量 NF 进行分解，3 对腔体进行快速清洁，提高机台的整体性能。其等离子体腔体采用高纯度铝合金制造，具有专利冷却能力。Xstream RPS 不采用昂贵的腔体涂层，具有长达多年的免维护设计使用寿命，是用于实现可靠性和高效性能的明智之选。
优点
- 采用定制铝合金和 Type III 硬式阳极处理，无需昂贵的腔体涂层
- 通过可最大限度降低热应力的冷却系统提高腔体性能和耐久性
- 通过主动匹配网络提高效率并改进等离子体功率输出
- 通过实时等离子体测量，对电源和过程进行精确控制
- 通过专利点火系统实现可靠、可重复的等离子体点火
特点
- 高度可靠的 RPS 可最大限度延长机台的正常运行时间
- 将反应性气体有效输送到处理腔体，以提高性能
- 配备集成主动匹配网络 (AMN) 的变压器耦合等离子体 (TCP) 源
- 工作频率为 225 kHz 至 660 kHz
- 8 kW/10 kW 功率型号
-
尺寸
高 x 宽 x 深：26.7 厘米 x 25.25 厘米 x 47.8 厘米
高 x 宽 x 深：10.5 英寸 x 9.94 英寸 x 18.82 英寸 -
重量
28.7 千克（63.2 磅）
-
交流工频
公称 50 至 60 Hz；范围 47 至 63 Hz
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交流输入电流
- 对于 10 kW 版本：公称 31 安培/每相最大 35 安培
- 对于 8 kW 版本：公称 28 安培/每相最大 31 安培
-
功率精度
+/- 5% 或 +/- 200 W（取较大值）
（实测等效等离子体阻抗为 1.2 欧姆） -
电气效率
满额功率和公称线路下 > 80%
-
功率因数
> 0.90
全球服务和支持
应用支持和咨询
保修
产品支持
产品比较
模型
Xstream 8 kW
Xstream 10 kW
点火
0.1 至 4.0 Torr，< 1 slm Ar
0.1 至 4.0 Torr，< 1 slm Ar
操作
0.5 至 12.0 Torr，最大 6slm NF3
0.5 至 15.0 Torr，最大 8 slm NF3
解离
≥ 98%
≥ 98%
腔体
专有铝合金
专有铝合金
O 形圈
Chemraz<sup>®</sup>
Chemraz<sup>®</sup>