等离子体发生器
Navigator II
快速、精确、可靠的数字调谐匹配
Navigator II 匹配网络的先进数字技术可缩短调谐和匹配响应时间。
- 领先的射频等离子体方法和控制
- 高级脉冲控制，可在脉冲时调谐
- 通过集成的 Z'Scan II 深入监测等离子体
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
Navigator® II 配备微处理器控制的步进电机驱动，以及先进的调谐算法，可实现射频功率优化。可选的内部 Z’Scan® II 射频传感器可实时分析过程功率和阻抗，助您快速识别并明显减少工艺偏差。选配的虚拟前面板软件，可通过用户计算机进行监测和控制。
优点
- 快速调谐和缩短匹配响应时间
- 加强过程控制
- 提高设备效率和产品产量
- 提高可靠性，降低拥有成本
- 自定义各种腔室和工艺过程
特点
- 数字架构，采用基于模型的快速调谐算法
- 脉冲射频供电
- 扫频操作
- 互调失真 (IMD) 抗扰，针对多频率应用
- 实时工艺功率和阻抗测量
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功率
1 至 30 kW
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频率
400 kHz 至 60 MHz
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其他
可实现单频率和多频率，ICP 和 CCP
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜能。
应用支持和咨询
在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下，可以加快设备安装调试和工艺流程，或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。
保修
减少额外维护成本，进一步保护成本效益。Advanced Energy 提供整体的延长保修服务。