等离子体发生器

Navigator II

快速、精确、可靠的数字调谐匹配

Navigator II 匹配网络的先进数字技术可缩短调谐和匹配响应时间。

  • 领先的射频等离子体方法和控制
  • 高级脉冲控制,可在脉冲时调谐
  • 通过集成的 Z'Scan II 深入监测等离子体
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

Navigator® II 配备微处理器控制的步进电机驱动,以及先进的调谐算法,可实现射频功率优化。可选的内部 Z’Scan® II 射频传感器可实时分析过程功率和阻抗,助您快速识别并明显减少工艺偏差。选配的虚拟前面板软件,可通过用户计算机进行监测和控制。

优点

  • 快速调谐和缩短匹配响应时间
  • 加强过程控制
  • 提高设备效率和产品产量
  • 提高可靠性,降低拥有成本
  • 自定义各种腔室和工艺过程

特点

  • 数字架构,采用基于模型的快速调谐算法
  • 脉冲射频供电
  • 扫频操作
  • 互调失真 (IMD) 抗扰,针对多频率应用
  • 实时工艺功率和阻抗测量
  • 功率

    1 至 30 kW

  • 频率

    400 kHz 至 60 MHz

  • 其他

    可实现单频率和多频率,ICP 和 CCP

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜能。

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