扫描电镜
扫描电镜
提升整个系统的性能和质量。
高压电源是扫描电镜的关键组件。它们负责为加速器、牵引器、抑制器和加热元件提供动力。
Advanced Energy 的电源可提供高精度、低纹波性能，直接影响 SEM 系统的核心功能和分辨率。
挑战
您的客户要求提高分辨率、减小工具尺寸、提升可靠性，还有最重要的，SEM 要便于使用。
作为扫描电镜制造商，您对这些要求的合理应对是改进系统设计，实现易于使用的图形界面，同时减少电源占用空间。但旧有电源技术体积大、性能差，无法满足下一代 SEM 需求，也无法帮助您的产品脱颖而出。
我们的解决方案
下一代 SEM 需要先进的电源来提升分辨率、提高可靠性、简化通信并减少占用空间。
Advanced Energy 的 EG353 专用 SEM 电源可满足您的苛刻要求。其设计紧凑，维护要求低，精确度高。作为 Advanced Energy 直接驱动数字控制 (D³C) 技术的直接成果，EG353 为 SEM 高压电源树立了新的标杆。
优势
- 纹波低（< 1.6 ppm，加速器），稳定性高（< 10 ppm，加速器），分辨率可达 1 nm 以下
- Advanced Energy 的直接驱动数字控制 (D3C) 技术提供市场领先的可靠性和性能
- 机械结构选择 - 小尺寸模块或 19 英寸机架安装方案
- 通过客户定义的衍生产品和连接方案轻松实现系统集成
- 易于使用的数字控制和监测
