远程等离子体源
Rapid OX
适用于氧气类过程的远程等离子体源
Advanced Energy 的 Rapid OX 采用独特的可由用户插入安装和拆卸的石英腔体内衬，是氧气类工艺的理想选择。
- 特别适合于光刻胶灰化/碳质真空腔清理：石英衬层减少了氧复合，确保反应物质到工艺腔的有效输送
- Rapid OX 功率为 6 kW，通过变频和功率控制解离氧气，实现最佳性能
- 可靠的设计：与采用全石英腔体的产品相比，该腔体和可拆卸插入设计具有更好的可靠性
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
- 经销商
概述
由于 Rapid OX 采用可拆卸石英内衬，可减少复合效应，延长氧自由基的寿命。与阳极氧化真空腔相比，所产生的活性反应物质寿命更长，从而提高光刻胶拨出速率。此外，由于操作员可以轻松地安装或拆卸石英内衬，停机时间得以缩短，更换成本也显著降低。
优点
- 采用可拆卸、可更换的石英腔体，停机时间和拥有成本均大幅缩减
- 高解离速率且产生高密度自由基，提高了过程性能
- 通过变频调谐和精密功率控制，确保了工艺的可重复性和可控性
- 高度可靠的腔室设计和冷却系统增加了腔室寿命，且降低了使用成本
- 提高工具利用率，减少预防性维护，降低拥有成本
特点
- 石英内衬理想适用于光刻胶灰化或碳质真空腔清理工艺
- 变频匹配提高可使用的等离子阻抗范围，通过改变气体化学特征、压力和功率设置点实现控制
- 热管理改进有助于确保真空腔体实现更长寿命
- 利用低动态压力超调，Rapid OX 可以快速点火并达到稳态运行
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等离子体功率范围
500 至 6000 W
在电源阻抗范围内可调整功率 -
过程应用
远程供气用于下游腔室清洁、反应性刻蚀工艺和反应性沉积工艺
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点火
100 mTorr 至 1 Torr 和高达 4 SLM 的氧气和氮气2 （90% 氧气和 10% 氮气2）
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化学相容性
本机组适用于选定气体，例如 Ar、O2、H2、N2、F2、H2O、NF3或 O2
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工作流量、稀释和压力范围
- 经过验证的机组工作流量范围为 0.2 至 4 slm，适合纯 O2，以及2含有 10% N2且在 100 mTorr 至 4 Torr 之间的 O
- 也可以使用其他气压/流量组合，但在使用前必须获得 Advanced Energy 的批准
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尺寸
高 x 宽 x 深：35.3 厘米 x 41.5 厘米 x 39.2 厘米
高 x 宽 x 深：14 英寸 x 16.5 英寸 x 15.5 英寸 -
重量
37.6 千克（83 磅）
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射频频率
250 至 665 kHz
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功率精度
参考等离子体负载 +/- 5% 或 200 W，以较大者为准
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工作负载限值
工作负载需在以下工作限值内：
最小功率
500 W
最大功率
6000 W
最大等离子体电压
325 Vrms
最小等离子体电流
5 Arms
最大一次电流
120 Arms