Remote Plasma Sources

MAXstream

适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源

Advanced Energy 的 MAXstream 产品是用于腔体清洁的新一代远程等离子体源。作为一款适用于紧凑型的腔体清洁解决方案,MAXstream RPS 拥有 AE 久经验证的 RPS 可靠性能和行业内领先的功率精度,可确保长时间无故障运行,流量能力高达 3 至 12 标准升/分钟 (SLPM)。

  • 可以无故障运行的高可靠性等离子体清洁系统
  • 专有高纯度铝基材采用 Type 3 阳极氧化处理,可延长腔体寿命
  • 独特的双等离子体源引燃核心设计可确保接近 100% 的点火可靠性
  • 行业领先的 2% 功率精度,确保一致的、可重复的性能
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概述

Advanced Energy 的 MAXstream<sup>TM</sup> 产品线是用于腔体清洁的新一代远程等离子体源。MAXstream 有适用 3、6、8、10 和 12 SLPM NF3 等多种气体流量的不同型号选择,与传统使用的系统相比,功率精度可提高多达 60%。

为确保延长腔体寿命并减少颗粒产生量,AE 推出了经过验证、独具特色的等离子体源材料和技术。新产品MAXstream 的双等离子体源引燃核心采用更完善的设计,确保了等离子引燃时的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠,令整个操作能保持其稳定性,减少停机情况的出现。

MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的 RPS 系统之中,以确保可与现有系统无缝衔接,方便用户更新换代。

优点

  • 支持客户根据多种流量按需选择以优化成本
  • 占地面积比 Xstream RPS 更小,为您节省宝贵的机台空间
  • 通过独特的 AE 双等离子体源引燃核心实现接近 100% 的点火可靠性
  • AE 专有高纯度铝基材采用 Type 3 阳极氧化处理,可延长腔体寿命
  • 流量能力高达 12 SLPM,清洁时间更短

特点

  • 五种型号:MAXstream 300 适合低流量应用,MAXstream 600、800、1000 和 1200 适用高流量应用
  • 高度可靠的 RPS 可最大限度延长机台的正常运行时间
  • 可与传统 RPS 机组有效嵌入兼容,简化设计升级路径,提高性能表现和可靠性
  • 等离子体源腔壁采用增强冷却技术,可减少热膨胀和化学侵蚀造成的损坏
  • 主动监测和控制等离子体功率,实现行业领先的功率精度
  • 等离子体功率范围

    300 至 12,000 W,连续

  • 点火

    MAXstream 300

    100 mTorr 至 4 Torr,Ar 最大为 2 SLM,< NF 毒化的 1%3

    MAXstream 600、800、1000、1200

    氩 100 mTorr 至 4 Torr,最大 1 SLPM

  • 功率精度

    ±2% 或 15 W(以较大值为准)

  • 流量范围

    MAXstream 300

    10 Torr 下最大 3 SLPM

    MAXstream 600、800、1000、1200

    30 Torr 下最大 12 SLM

  • 输入电压

    MAXstream 300

    187 至 229 VAC,无中性线,3 相,带 PE 地线(相位不敏感)

    MAXstream 600、800、1000、1200

    200 至 208 VAC ±10%(180 至 229 VAC),无中性线,3 相,带 PE 地线(相位不敏感)

全球服务和支持

应用支持和咨询

保修

产品支持

产品比较

模型

MAXstream Remote Plasma Source - Maxstream 300

MAXstream 300

MAXstream Remote Plasma Source - Maxstream 600

MAXStream 600、800、1000、1200

等离子体功率范围

300 至 6000 W

500 至 12,000 W

功率精度

±2% 或 15 W(以较大值为准)

±2% 或 15 W(以较大值为准)

流量

10 Torr 下最大 3 SLPM

30 Torr 下最大 12 SLPM

点火

100 mTorr 至 4 Torr,最大 2 SLPM

氩 100 mTorr 至 4 Torr,最大 1 SLPM

高 x 宽 x 深

25.4 x 21 x 42.4 厘米(10 x 8.3 x 16.7 英寸)

26.3 x 24.1 x 43.4 厘米(10.3 x 9.5 x 17.1 英寸)

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