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使用 Advanced Energy 远程等离子体源进行腔体清洁
在此视频中，请观看如何在 CVD 腔体清洁中使用 Advanced Energy 的 MAXstream 远程等离子体源 (RPS)。MAXstream 可在多种流量下提供可靠性能，从而提高半导体工艺设备的生产率，并增强 AE 在工艺电源方面的领导地位。
远程等离子体源
MAXstream
适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源
Advanced Energy 的 MAXstream 产品是用于腔体清洁的新一代远程等离子体源。作为一款适用于紧凑型的腔体清洁解决方案，MAXstream RPS 拥有 AE 久经验证的 RPS 可靠性能和行业内领先的功率精度，可确保长时间无故障运行，流量能力高达 3 至 12 标准升/分钟 (SLPM)。
- 可以无故障运行的高可靠性等离子体清洁系统
- 专有高纯度铝基材采用 Type 3 阳极氧化处理，可延长腔体寿命
- 独特的双等离子体源引燃核心设计可确保接近 100% 的点火可靠性
- 行业领先的 2% 功率精度，确保一致的、可重复的性能
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
- 经销商
概述
Advanced Energy 的 MAXstream<sup>TM</sup> 产品线是用于腔体清洁的新一代远程等离子体源。MAXstream 有适用 3、6、8、10 和 12 SLPM NF3 等多种气体流量的不同型号选择，与传统使用的系统相比，功率精度可提高多达 60%。
为确保延长腔体寿命并减少颗粒产生量，AE 推出了经过验证、独具特色的等离子体源材料和技术。新产品MAXstream 的双等离子体源引燃核心采用更完善的设计，确保了等离子引燃时的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠，令整个操作能保持其稳定性，减少停机情况的出现。
MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的 RPS 系统之中，以确保可与现有系统无缝衔接，方便用户更新换代。
优点
- 支持客户根据多种流量按需选择以优化成本
- 占地面积比 Xstream RPS 更小，为您节省宝贵的机台空间
- 通过独特的 AE 双等离子体源引燃核心实现接近 100% 的点火可靠性
- AE 专有高纯度铝基材采用 Type 3 阳极氧化处理，可延长腔体寿命
- 流量能力高达 12 SLPM，清洁时间更短
特点
- 五种型号：MAXstream 300 适合低流量应用，MAXstream 600、800、1000 和 1200 适用高流量应用
- 高度可靠的 RPS 可最大限度延长机台的正常运行时间
- 可与传统 RPS 机组有效嵌入兼容，简化设计升级路径，提高性能表现和可靠性
- 等离子体源腔壁采用增强冷却技术，可减少热膨胀和化学侵蚀造成的损坏
- 主动监测和控制等离子体功率，实现行业领先的功率精度
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等离子体功率范围
300 至 12,000 W，连续
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点火
MAXstream 300
100 mTorr 至 4 Torr，Ar 最大为 2 SLM，< NF 毒化的 1%3
MAXstream 600、800、1000、1200
氩 100 mTorr 至 4 Torr，最大 1 SLPM
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功率精度
±2% 或 15 W（以较大值为准）
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流量范围
MAXstream 300
10 Torr 下最大 3 SLPM
MAXstream 600、800、1000、1200
30 Torr 下最大 12 SLM
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输入电压
MAXstream 300
187 至 229 VAC，无中性线，3 相，带 PE 地线（相位不敏感）
MAXstream 600、800、1000、1200
200 至 208 VAC ±10%（180 至 229 VAC），无中性线，3 相，带 PE 地线（相位不敏感）
全球服务和支持
应用支持和咨询
保修
产品支持
产品比较
模型
MAXstream 300
MAXStream 600、800、1000、1200
300 至 6000 W
500 至 12,000 W
±2% 或 15 W（以较大值为准）
±2% 或 15 W（以较大值为准）
10 Torr 下最大 3 SLPM
30 Torr 下最大 12 SLPM
100 mTorr 至 4 Torr，最大 2 SLPM
氩 100 mTorr 至 4 Torr，最大 1 SLPM
25.4 x 21 x 42.4 厘米（10 x 8.3 x 16.7 英寸）
26.3 x 24.1 x 43.4 厘米（10.3 x 9.5 x 17.1 英寸）