等离子体发生器
Navio
可配置的经济型数字匹配网络解决方案
Navio 匹配网络可为多种应用快速、精确、可重复地提供阻抗。
- Advanced Energy 射频电源可实现即插即用安装，适合薄膜应用
- 高效稳定的供电输出
- 体积紧凑，风冷设计（标准或超薄封装版本）
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
只需一套设备，价格合理，简便可靠。Navio™ 匹配网络利用我们丰富的电源专业知识，将复杂的等离子体阻抗与您的调谐范围精确匹配。快速、精确、可重复。提供多种功率范围和频率，可选择标准产品或可配置设计。Advanced Energy 射频电源几乎可实现即插即用式安装。可使用虚拟前置面板软件进行监测。
优点
- 提高产量和良品率，降低生产成本
- 可选择标准型号或配置符合系统要求的机组
- 轻松安装操作
- 可重复性出色，提高工艺产量
特点
- 快速、精确、可重复的阻抗匹配
- 经过优化的现成功能，适合多种应用
- 丰富的配置选项菜单，适合复杂工艺
- 宽广的功率和频率范围
- 紧凑的风冷机组，有标准和超薄两种版本可供选择
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功率范围
1、3 和 5 kW
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频率
13 至 60 MHz
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输入功率
24 VDC 或 110 VAC
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调谐时间（典型值）
2 至 3 s
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冷却
风冷
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可用接口
模拟、RS 232、Profibus
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜能。
应用支持和咨询
在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下，可以加快设备安装调试和工艺流程，或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。
保修
减少额外维护成本，进一步保护成本效益。Advanced Energy 提供整体的延长保修服务。