等离子体发生器

Navio

可配置的经济型数字匹配网络解决方案

Navio 匹配网络可为多种应用快速、精确、可重复地提供阻抗。

  • Advanced Energy 射频电源可实现即插即用安装,适合薄膜应用
  • 高效稳定的供电输出
  • 体积紧凑,风冷设计(标准或超薄封装版本)
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

只需一套设备,价格合理,简便可靠。Navio™ 匹配网络利用我们丰富的电源专业知识,将复杂的等离子体阻抗与您的调谐范围精确匹配。快速、精确、可重复。提供多种功率范围和频率,可选择标准产品或可配置设计。Advanced Energy 射频电源几乎可实现即插即用式安装。可使用虚拟前置面板软件进行监测。

优点

  • 提高产量和良品率,降低生产成本
  • 可选择标准型号或配置符合系统要求的机组
  • 轻松安装操作
  • 可重复性出色,提高工艺产量

特点

  • 快速、精确、可重复的阻抗匹配
  • 经过优化的现成功能,适合多种应用
  • 丰富的配置选项菜单,适合复杂工艺
  • 宽广的功率和频率范围
  • 紧凑的风冷机组,有标准和超薄两种版本可供选择
  • 功率范围

    1、3 和 5 kW

  • 频率

    13 至 60 MHz

  • 输入功率

    24 VDC 或 110 VAC

  • 调谐时间(典型值)

    2 至 3 s

  • 冷却

    风冷

  • 可用接口

    模拟、RS 232、Profibus

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜能。

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应用支持和咨询

Accelerate tool installations and process development programs, or address specific applications concerns with Advanced Energy's dedicated applications consultants and engineering staff. Benefit from on-site reviews, analyses, and consultations.

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保修

Decrease variability in maintenance costs and provide additional cost protection. Advanced Energy offers whole-box extended warranties.

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产品支持

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