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高压电源

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Advanced Energy 的高压产品以高性能电源为特色。每个产品系列都提供多种选件和附件，以满足您的应用需求。我们还提供定制解决方案。

高压电源类型

定制和标准改型

静电吸盘

几十年来，Advanced Energy 的 Trek 静电吸盘电源一直是半导体行业的明星产品。

高功率

作为众多高压解决方案的一部分，Advanced Energy 为各种应用提供大功率解决方案。我们的产品组合包括输出功率高达 10 kW 的高功率 DC-DC 转换器和 AC-DC 电源。

低功率

Advanced Energy 提供一系列高压低功率系统。

模块

Advanced Energy 利用高稳定性模块，为各类应用提供源源不断的电力。

UltraVolt 高压 PCB 安装型

我们的 HiTek、Trek 和 Ultravolt 产品系列灵活且高度可靠，可提供卓越的电源品质，提升整套系统的性能。

特色产品

特色

Trek 645 Series

Software-Driven Electrostatic Chuck Supply, Output Voltage Range 0 to ±2 kV

特色

Trek 605A Series

High Voltage Reference Supply for Precise Control of Output Voltages in Fixed or Variable Modes

特色

MSP Series

Ultra-Low Ripple, Multi-Purpose, Precision Mass Spectrometry Power Supplies

特色

OLS10K Series

10 kW AC-to-HVDC Power Supplies Built for 24 x 7 Processes

相关应用

探索所有应用

注入

AE 功率产品的设计专注于优化效率和功率密度，以确保离子能量的精确控制。

电子束检测

Advanced Energy 为电子束检测系统提供稳定可靠的电源。这种严格的控制实现了高精度的缺陷识别，确保存储器和逻辑器件符合严格的规格要求。

探索电子束检测

沉积

AE 为半导体沉积提供全面的产品组合，包括等离子电源输送、温度测量、温度控制和晶圆控制解决方案。

蚀刻

Advanced Energy 的高精度等离子体功率传输系统可对蚀刻应用进行精确控制，从而实现高重复性和高产量。

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