等离子体发生器
Paramount
面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源
Paramount 射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。
- 全数字控制可动态响应等离子体变化
- 频率和功率可定制范围分别从 400 kHz 至 60 MHz 和 1.5 kW 至 10 kW
- 实现控制优化和同步的高级功能
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
重新关注操作灵活性，推动您的工艺开发。Paramount® 射频发生器可提供宽频率和功率范围，支持多种集成场景，并配备标准串行或模拟接口。Paramount HP 10013 具有更高的功率等级，可以实现大高宽比设备所需的更高等离子体密度和离子能量，并可加快半导体加工设备的下一个节点的过程。
Paramount 平台采用数字架构，可实现精密的电源管理和优化新功能的集成，无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化，实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。
优点
- 提高等离子体稳定性和工艺可重复性
- 精密控制射频功率
- 快速响应等离子体变化
- 易于调整满足特定应用需求
特点
- 全数字控制
- 频率调谐、脉冲和脉冲同步
- 实时功率和阻抗测量
- 电弧管理
- 相位同步 (CEX)
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功率等级
Paramount MF
2、3、5 和 8 kW
Paramount HF
1.5、3 和 6 kW
Paramount VHF
3、6 和 7 kW
Paramount HP 10013
10 kW
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频率
Paramount MF
400 kHz/2 MHz，频率调谐 ± 10%
Paramount HF
13 MHz，频率调谐 ± 5%
Paramount VHF
27/40/60 MHz，频率调谐 ± 5%
Paramount HP 10013
13 MHz，频率调谐 ± 5%
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交流输入
208 和 480 VAC ± 10%
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工频
50/60 Hz
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冷却
风冷和水冷
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工作环境温度范围
+5°C 至 +40°C，+41°F 至 +104°F
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高级功能
Paramount MF
脉冲，CEX
Paramount HF
脉冲，电弧管理，CEX
Paramount HP 10013
双级脉冲，电弧管理，CEX
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可用接口
RS-232、用户端口、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜力。