等离子体发生器

Paramount

面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源

Paramount 射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。

  • 全数字控制可动态响应等离子体变化
  • 频率和功率可定制范围分别从 400 kHz 至 60 MHz 和 1.5 kW 至 10 kW
  • 实现控制优化和同步的高级功能
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

重新关注操作灵活性,推动您的工艺开发。Paramount® 射频发生器可提供宽频率和功率范围,支持多种集成场景,并配备标准串行或模拟接口。Paramount HP 10013 具有更高的功率等级,可以实现大高宽比设备所需的更高等离子体密度和离子能量,并可加快半导体加工设备的下一个节点的过程。

Paramount 平台采用数字架构,可实现精密的电源管理和优化新功能的集成,无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化,实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。

优点

  • 提高等离子体稳定性和工艺可重复性
  • 精密控制射频功率
  • 快速响应等离子体变化
  • 易于调整满足特定应用需求

特点

  • 全数字控制
  • 频率调谐、脉冲和脉冲同步
  • 实时功率和阻抗测量
  • 电弧管理
  • 相位同步 (CEX)
  • 功率等级

    Paramount MF

    2、3、5 和 8 kW

    Paramount HF

    1.5、3 和 6 kW

    Paramount VHF

    3、6 和 7 kW

    Paramount HP 10013

    10 kW

  • 频率

    Paramount MF

    400 kHz/2 MHz,频率调谐 ± 10%

    Paramount HF

    13 MHz,频率调谐 ± 5%

    Paramount VHF

    27/40/60 MHz,频率调谐 ± 5%

    Paramount HP 10013

    13 MHz,频率调谐 ± 5%

  • 交流输入

    208 和 480 VAC ± 10%

  • 工频

    50/60 Hz

  • 冷却

    风冷和水冷

  • 工作环境温度范围

    +5°C 至 +40°C,+41°F 至 +104°F

  • 高级功能

    Paramount MF

    脉冲,CEX

    Paramount HF

    脉冲,电弧管理,CEX

    Paramount HP 10013

    双级脉冲,电弧管理,CEX

  • 可用接口

    RS-232、用户端口、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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