等离子体发生器

Paramount Plus

面向新兴等离子体应用的多级脉冲和脉冲波形控制

Paramount Plus 提供一流的脉冲控制等先进技术和可定制功能。

  • 精确的射频和脉冲控制
  • 快速响应等离子体变化
  • 内置诊断工具
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

在这款脉冲射频电源中得到最全面的功能。Paramount Plus 可实现精密的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的数据采集。我们的 Paramount Plus 设计覆盖宽范围的 RF 能量,频率范围从 400 kHz 至 60 MHz,功率水平从 1.5 kW 至 15 kW,可以提供您需要的可重复性和可靠性。

优点

  • 精密控制射频
  • 提高等离子体稳定性
  • 加速等离子体转换
  • 缩短工艺时间
  • 提高工艺可重复性和腔室匹配度

特点

  • 通过精密调节功率输出提升射频稳定性
  • 先进的多级脉冲
  • 脉冲同步和监测
  • 实时功率和阻抗测量
  • 先进的 FastDAQ 数据采集系统
  • 功率等级

    Paramount Plus MF

    5 和 15 kW

    Paramount Plus VHF

    3 和 6 kW

  • 频率

    Paramount Plus MF

    2 MHz,频率调谐 ± 10%

    Paramount Plus VHF

    27 MHz、40 MHz、60 MHz,频率调谐 ± 5%

  • 可用接口

    RS-232、25 针模拟、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT

  • 交流输入

    Paramount Plus MF

    200/240 VAC,400/480 VAC

    Paramount Plus VHF

    200/240 VAC,400/480 VAC

  • 工频

    50/60 Hz

  • 冷却

    风冷和水冷

  • 工作环境温度范围

    +5°C 至 +40°C,+41°F 至 +104°F

  • 高级功能

    多级脉冲,电弧管理,CEX

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜力。

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