等离子体发生器
Paramount Plus
面向新兴等离子体应用的多级脉冲和脉冲波形控制
Paramount Plus 提供一流的脉冲控制等先进技术和可定制功能。
- 精确的射频和脉冲控制
- 快速响应等离子体变化
- 内置诊断工具
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
在这款脉冲射频电源中得到最全面的功能。Paramount Plus 可实现精密的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的数据采集。我们的 Paramount Plus 设计覆盖宽范围的 RF 能量，频率范围从 400 kHz 至 60 MHz，功率水平从 1.5 kW 至 15 kW，可以提供您需要的可重复性和可靠性。
优点
- 精密控制射频
- 提高等离子体稳定性
- 加速等离子体转换
- 缩短工艺时间
- 提高工艺可重复性和腔室匹配度
特点
- 通过精密调节功率输出提升射频稳定性
- 先进的多级脉冲
- 脉冲同步和监测
- 实时功率和阻抗测量
- 先进的 FastDAQ 数据采集系统
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功率等级
Paramount Plus MF
5 和 15 kW
Paramount Plus VHF
3 和 6 kW
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频率
Paramount Plus MF
2 MHz，频率调谐 ± 10%
Paramount Plus VHF
27 MHz、40 MHz、60 MHz，频率调谐 ± 5%
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可用接口
RS-232、25 针模拟、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT
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交流输入
Paramount Plus MF
200/240 VAC，400/480 VAC
Paramount Plus VHF
200/240 VAC，400/480 VAC
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工频
50/60 Hz
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冷却
风冷和水冷
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工作环境温度范围
+5°C 至 +40°C，+41°F 至 +104°F
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高级功能
多级脉冲，电弧管理，CEX
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜力。