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概述
Trek<sup>®</sup> 156A 通过计算对预先充有正电荷或负电荷的浮动板进行放电产生空气离子所需的时间长短,对电离器的离子产生效率进行测试。Trek 156A 还可通过测量从电离器出来撞击在浮动板上的正负空气离子失衡导致在浮动板上产生的偏移电压,对正负空气离子之间的平衡进行测试。
通常,随着电离器的老化,正负空气离子产生速度会下降。因此,电离器对静电电荷进行中和所需的时间就会增加,正负空气离子之间的平衡会发生变化。中和(衰减)时间可能会变得太长,导致电离器无法对某个工作地点产生的电荷进行完全中和,或者,电离器可能会开始对最初并未充电的物体进行充电。
优点
- 设置自定义测量电容,确保在制造过程中满足 ESD 过程需求
- 采用紧凑轻量设计,可在设施中轻松移动
- 用于半导体、磁盘驱动器和 LCD 等敏感制造过程的 ESD 监测
特点
- 偏移和漂移极低,确保更高的准确性,是 GMR 和 TMR 制造领域等离子平衡要求苛刻的应用的理想之选
- 每个机组均附带 NIST 可追溯校准证书
所选规格如下所示。有关更多规格,请参见产品数据手册。
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性能
监测电压范围
0 至 ±1100 V DC 或峰值 AC
大信号带宽
DC 至 10 Hz(2000 V p-p 下实测值)
小信号带宽 (-3dB)
DC 至 1 kHz(20 V p-p 下实测值)
浮动板自放电速率
小于 12 V/分钟
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电压监视器
输出
BNC 提供浮动板的低电压复制品
比例系数
充电板电压的 1/200
DC 准确性
优于满量程的 0.1%
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机械
高 x 宽 x 深
83 x 318 x 280 毫米(3.25 x 12.5 x 11 英寸)
重量
2 千克(4.4 磅)
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工作条件
温度
5°C 至 35°C(41°F 至 95°F)
相对湿度
最高 80%,无冷凝
海拔高度
最大 2000 米(6561.68 英尺)
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典型应用
- 半导体、磁盘驱动器和 LCD 等敏感制造过程的 ESD 监测
- 对室内电离系统、AC 和 DC 鼓风机、核电离器、枪式电离器和脉冲直流电离器等各种电离器进行测试
- 高温应用
- 去离子水 ESD 测量
- 耗散测试应用
规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。