等离子体发生器
Apex
功率密度高，实现紧凑型安装
在空间有限但性能至关重要的情况下，简化版 Apex 射频发生器能提供您可以信赖的各种安装选项和功率。
- 腔室、机架或框架等安装选项，在提供方便的同时还可降低功率损耗
- 通过电弧管理实现卓越性能
- 13.56 MHz 频率下输出功率选择从 1.5 kW 至 10 kW
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
灵活通用的 Apex® 系列射频发生器和电源系统采用紧凑的模块化设计，适用于真空腔室安装。Apex 射频发生器和电源系统运用成熟可靠的射频转换技术，提高产品和工艺可靠性。高密度功率使其成为先进等离子体工艺的理想选择。具有各种通信模型和可配置功能，使您能够很方便地完成平台的定制以及集成方法的开发。不需要提前定制电源。
优点
- 灵活性提高，可直接集成工艺机台
- 等离子操作稳定化
- 提高快速电弧管理的良品率
- 易于根据您的工艺要求进行定制和配置
特点
- 流线型设计，实现大功率密度
- 可选真空室安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒式安装
- 宽带控制回路
- 可选脉冲控制
- 高速电弧管理
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功率等级
1.5、3 和 5.5 kW
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频率
13 MHz
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可用接口
RS-232、25 针模拟、以太网、DeviceNet
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交流输入
208 VAC
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工频
50/60 Hz
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冷却
水冷
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环境空气温度范围
+5°C 至 +40°C
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冷却水温度范围
+5°C 至 +35°C
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高级功能
脉冲，CEX
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜力。