等离子体发生器

Apex

功率密度高,实现紧凑型安装

在空间有限但性能至关重要的情况下,简化版 Apex 射频发生器能提供您可以信赖的各种安装选项和功率。

  • 腔室、机架或框架等安装选项,在提供方便的同时还可降低功率损耗
  • 通过电弧管理实现卓越性能
  • 13.56 MHz 频率下输出功率选择从 1.5 kW 至 10 kW
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

灵活通用的 Apex® 系列射频发生器和电源系统采用紧凑的模块化设计,适用于真空腔室安装。Apex 射频发生器和电源系统运用成熟可靠的射频转换技术,提高产品和工艺可靠性。高密度功率使其成为先进等离子体工艺的理想选择。具有各种通信模型和可配置功能,使您能够很方便地完成平台的定制以及集成方法的开发。不需要提前定制电源。

优点

  • 灵活性提高,可直接集成工艺机台
  • 等离子操作稳定化
  • 提高快速电弧管理的良品率
  • 易于根据您的工艺要求进行定制和配置

特点

  • 流线型设计,实现大功率密度 
  • 可选真空室安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒式安装 
  • 宽带控制回路
  • 可选脉冲控制
  • 高速电弧管理
  • 功率等级

    1.5、3 和 5.5 kW

  • 频率

    13 MHz

  • 可用接口

    RS-232、25 针模拟、以太网、DeviceNet

  • 交流输入

    208 VAC

  • 工频

    50/60 Hz

  • 冷却

    水冷

  • 环境空气温度范围

    +5°C 至 +40°C

  • 冷却水温度范围

    +5°C 至 +35°C

  • 高级功能

    脉冲,CEX

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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