等离子体发生器

直流和脉冲直流 Solvix

最佳直流和脉冲直流电源

专为实现先进的高科技涂层而设计的强大、协调式 Precision PowerTM 电源。

  • 易于操作和配置的模块化直流和脉冲直流电源解决方案
  • 业内领先的可靠性,为极端等离子工艺动力学供电
  • 利用业内领先的功率调节和电弧管理来提高薄膜质量
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

得益于十多年业内的应用经验,Solvix® 直流和脉冲直流电源在溅射应用中,可提供精确的准确性和可靠的重复性。Solvix 电源支持各种功率和频率范围、脉冲以及多种通信选项,可为您的特定工艺提供可靠和成本有效的解决方案。

优点

  • 可靠性、精度和可重复性均得到验证
  • 降低衬底损坏和过程污染
  • 可适应广泛的工艺要求
  • 高效的安装和服务
  • 全球支持网络

特点

  • 直流和脉冲直流机组
  • 优异的电弧处理工艺
  • 电流、功率和电压调节模式
  • 风冷和水冷
  • 可配置多单元,实现不同的高功率要求
  • Power

    DC

    3, 10, 15,  and 30 kW 

    Pulsed-DC

    3 to 30 kW

  • Frequency

    Bias Units

    Up to 350 kHz

  • Other

    Cooling

    Air (water cooling available on some higher powered models)

    Communication

    Analog (RS-232/485 and Profibus available) 

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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