等离子体发生器
直流和脉冲直流 Solvix
最佳直流和脉冲直流电源
专为实现先进的高科技涂层而设计的强大、协调式 Precision PowerTM 电源。
- 易于操作和配置的模块化直流和脉冲直流电源解决方案
- 业内领先的可靠性，为极端等离子工艺动力学供电
- 利用业内领先的功率调节和电弧管理来提高薄膜质量
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
得益于十多年业内的应用经验，Solvix® 直流和脉冲直流电源在溅射应用中，可提供精确的准确性和可靠的重复性。Solvix 电源支持各种功率和频率范围、脉冲以及多种通信选项，可为您的特定工艺提供可靠和成本有效的解决方案。
优点
- 可靠性、精度和可重复性均得到验证
- 降低衬底损坏和过程污染
- 可适应广泛的工艺要求
- 高效的安装和服务
- 全球支持网络
特点
- 直流和脉冲直流机组
- 优异的电弧处理工艺
- 电流、功率和电压调节模式
- 风冷和水冷
- 可配置多单元，实现不同的高功率要求
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Power
DC
3, 10, 15, and 30 kW
Pulsed-DC
3 to 30 kW
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Frequency
Bias Units
Up to 350 kHz
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Other
Cooling
Air (water cooling available on some higher powered models)
Communication
Analog (RS-232/485 and Profibus available)
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。