等离子体发生器
Pinnacle 系列
面向 <= 20 kW 工艺的最知名的直流电源
Advanced Energy 的 Pinnacle 直流电源可生产优质薄膜，实现工艺效率的最大化。
- 根据您的实际需求选择购买：功率选项 6 至 20 kW
- 利用精确、可重复的功率和领先、低输送电弧能量，生产最佳薄膜
- 采用主/从配置的可靠、紧凑型风冷设计
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
Pinnacle<sup>®</sup> 直流电源经现场验证，其突出的工艺稳定性和控制能力，可显著减少差异和提高良品率。紧凑的外形集合了多种功能，包括卓越的电弧管理、产生低储存能量、快速电弧响应以及较宽的全功率运行阻抗范围。
优点
- 降低运作和安装成本
- 实现快速电弧响应
- 配置电弧响应
- 实现工艺效率最大化
- 精密的控制工艺
特点
- 低储存能量 — 每 1 kW 输出小于 1 mJ
- 无抽头
- 输出可重复性为 ±0.1%
- 目标调节周期 (TCC) — 将新靶标的调节时间降至最短
- 焦耳模式 — 优化能量供应
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Power
Single Output
6, 10, 12, or 20 kW
Dual Output
6/6 and 10/10 kW, independently controlled
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Voltage
Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)
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Repeatability
+/- 0.1% of rated power
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Accuracy
+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)
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Communication Interfaces
Analog, RS-232/485, Profibus
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AC Input
208, 400, 440, and 480 VAC
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。