等离子体发生器

Pinnacle 系列

面向 <= 20 kW 工艺的最知名的直流电源

Advanced Energy 的 Pinnacle 直流电源可生产优质薄膜,实现工艺效率的最大化。

  • 根据您的实际需求选择购买:功率选项 6 至 20 kW
  • 利用精确、可重复的功率和领先、低输送电弧能量,生产最佳薄膜
  • 采用主/从配置的可靠、紧凑型风冷设计
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

Pinnacle&lt;sup&gt;®&lt;/sup&gt; 直流电源经现场验证,其突出的工艺稳定性和控制能力,可显著减少差异和提高良品率。紧凑的外形集合了多种功能,包括卓越的电弧管理、产生低储存能量、快速电弧响应以及较宽的全功率运行阻抗范围。

优点

  • 降低运作和安装成本
  • 实现快速电弧响应
  • 配置电弧响应
  • 实现工艺效率最大化
  • 精密的控制工艺

特点

  • 低储存能量 — 每 1 kW 输出小于 1 mJ
  • 无抽头
  • 输出可重复性为 ±0.1%
  • 目标调节周期 (TCC) — 将新靶标的调节时间降至最短
  • 焦耳模式 — 优化能量供应
  • Power

    Single Output

    6, 10, 12, or 20 kW

    Dual Output

    6/6 and 10/10 kW, independently controlled

  • Voltage

    Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)

  • Repeatability

    +/- 0.1% of rated power

  • Accuracy

    +/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater) 

  • Communication Interfaces

    Analog, RS-232/485, Profibus

  • AC Input

    208, 400, 440, and 480 VAC 

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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