等离子体发生器

Ascent AMS 系列

在极端电弧条件下提供稳定功率输出获得重复性高的优质薄膜

Advanced Energy 领先的直流电源提供双磁控管溅射应用中所需的卓越性能和可靠性。 

  • 采用主动电弧管理,而非通用预设电弧响应
    • 每 1 kW 输出能量小于 0.4 mJ
    • 通过电弧条件确保工艺稳定且可重复
  • 针对更高功率应用的主/从配置
  • 更高的功率等级,减少电弧损坏
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

随着制造技术的进步发展,新材料和阴极设计对工艺稳定性和镀膜的可重复性提出了更大的挑战。对于任何工艺材料和阴极设计,Ascent®; AMS 电源都能提供稳定且重复性高的功率输出。AMS 采用先进的电弧管理,即使在提供最大功率的同时也可以使工艺快速恢复。极快的恢复速度,还意味着电弧产生的能量极低,从而避免衬底损害。

对于大功率应用,Ascent AMS 可用于主/从搭配。常见应用包括超过 100 kW 的输出配置。但是,水冷/风冷的相搭配的设计将电源尺寸降至最低。

优点

  • 获取优质镀膜和高产量
  • 减轻薄膜、衬底和设备损坏
  • 在极端电弧条件下,可实现稳定的产量和供电
  • 易于集成和控制

特点

  • Arc Management System™ (AMS) 技术 — 客户可以对金属和陶瓷靶材进行预设
  • Set Point Compensation™ 技术
  • Arc Sync® 技术 — 主/从搭配最多可至 12 台电源
  • Ethernet、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP 和模拟通信
  • AC Input Voltage

    400, 440, and 480 VAC

  • Output Power

    • 30, 40, and 60 kW
    • Primary/secondary configuration available for higher powers
  • Ignition Voltage

    800 to 1200 V

  • Output Voltage

    30 kW

    300 to 1000 VDC 

    40 kW

    333 to 1000 VDC 

    60 kW (120A)

    500 to 1000 VDC 

    60 kW (150A)

    400 to 800 VDC 

  • Available I/O

    Ethernet, EtherCAT®, DeviceNet®, Profibus, RS-232/485, EtherNet/IP, and analog communications

  • Mounting

    48.26 cm (19”), rack mountable, 6U height 

  • Cooling

    Air and water combined 

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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