等离子体发生器
等离子体发生器
经过现场验证的 Advanced Energy Precision PowerTM 解决方案集顶级控制、无与伦比的电弧处理和尖端的匹配技术于一体。我们的发生器具有卓越的综合能力，赋予您全新制造工艺和优势。
直流电源系统
正在寻找可靠、精确的直流电源解决方案？我们提供标准直流和脉冲直流电源选择。我们的电源拥有全面庞大的功能集和可靠的性能表现，可广泛应用于几乎各大工业应用，包括半导体制造、平板显示、玻璃镀膜、薄膜制造等等。
低频和中频电源
Advanced Energy 低频和中频电源高效且易于集成，可快速改善多种应用的工艺控制。
脉冲直流电源系统
利用 Advanced Energy 功能全面的脉冲直流电源系统拓展工艺创新。最大限度减少电弧，提高沉积率，改善薄膜平整度和堆积密度。
射频匹配网络
实现快速、精确和可靠匹配。Advanced Energy 的匹配网络可在多个功率范围内稳定运行。提供即插即用型号或可配置机组，安装方便，可加快调谐速度，加强工艺控制。
射频等离子体发生器
我们提供多种不同的射频等离子体发生器供您选择，您更可获得多种独特功能，以满足配置、控制和应用需求。从各种不同的底座和尺寸，到全数字控制和等离子体动态响应，我们的射频发生器可以激发您的工艺创新灵感。
