高压

EG353 系列

用于扫描电子显微镜的 35 kV 高压电源

EG353 系列可满足 SEM 以及检测、材料学、生物学和法医学等应用的严苛多输出要求。

  • 最大输出功率:加速器:6 W;牵引器:4 W;抑制器:0.1 W;加热器:15 W
  • 最大输出电压:最大 - 30 kV(加速器)
  • 纹波:< 2 ppm (50 mVpp)(加速器);浮动抑制器 (-1 kV);牵引器 (+10 kV);灯丝 (3 A)
  • 温度系数:< 25 ppm/°C(加速器)
  • 控制接口:数字
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持
  • 经销商

概述

Advanced Energy 的 EG353 系列具有内置灵活性,可适用于各种肖特基发射电子枪配置,为扫描电子显微镜 (SEM) 提供了可靠性与稳定性俱佳的电源。EG353 系列采用 Advanced Energy 的直接驱动数字控制 (D3C),外形尺寸更小,平均故障间隔时间性能和可靠性更高。凭借久经验证的设计和功率转换技术,EG353 电源有助于最大限度提高图像质量和可重复性。

优点

  • 效率更高,工作更稳定,组件差异更低,可靠性更出色,测试更轻松
  • 通过灵活模块和机架安装选项轻松进行安装
  • 使用标准和专用附件进行定制
  • 通过直接驱动数字控制 (D3C) 技术最大限度缩短设置和配置时间

特点

  • 纹波低(< 1.6 ppm,加速器),稳定性高(< 10 ppm,加速器),分辨率高达 1 nm
  • Advanced Energy 的直接驱动数字控制 (D3C) 技术提供市场领先的可靠性和性能
  • 机械结构选择 — 小尺寸模块或 19 英寸机架安装机组
  • 可根据要求提供客户定义衍生产品和连接选项
  • 易于使用的数字控制和监视;可以增加额外的接地输出
  • 电气

    输出功率

    加速器:6 W
    牵引器:4 W
    抑制器:0.1 W
    加热器:15 W

    输出电压

    加速器:-30 kV 200 µA
    牵引器:+10 kV 400 µA
    抑制器:-1 kV 100 µA
    加热器:5 V 3 A

    电压纹波

    加速器:< 2 ppm (50 mVpp)
    牵引器:< 2 ppm (20 mVpp)
    抑制器:< 30 ppm (30 mVpp)
    加热器:< 1 mA pp/5 mVpp(1 Ω 负载时)

    温度系数

    加速器:< 25 ppm/°C
    牵引器:< 25 ppm/°C
    抑制器:< 20 ppm/°C

  • 环境

    工作温度范围

    10°C 至 45°C(50°F 至 113°F)

    存放温度范围

    -20°C 至 +70°C(-4°F 至 158°F)

    湿度

    温度低于 31°C(含)时 80% 最大相对湿度,线性递减至 40°C (140°F) 时的 50%

  • 机械

    模块尺寸

    240 x 130 x 332 立方毫米(9.4 x 5.1 x 13 立方英寸)(宽 x 高 x 深)

    模块重量

    10.2 千克(22.5 磅)

    机架安装机组尺寸

    440 x 132.6 x 345 立方毫米(17.3 x 5.2 x 13.5 立方英寸)(宽 x 高 x 深)

    机架安装重量

    12 千克(26.5 磅)

  • 接口

    输入连接器

    2 路 PTR/Phoenix STLZ950/2-G-5.08-green(针 1 为正,针 2 为负)

    高压输出连接器

    加热器:双线客户 4 路高压连接器
    抑制器:单线客户 4 路高压连接器
    牵引器:单线客户 4 路高压连接器

  • 选项和附件

    电源连接器

    • 标准 EG353 4 点连接器
    • Claymount CA12 连接器
    • 安装类型:紧凑模块
    • 19 英寸机架安装机组

    附件

    • 带 EG353 连接器和 SEM 柱连接器的高压输出电缆 — 1 米、3 米或 5 米
    • 增加串行到光学接口

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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