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概述
Advanced Energy 的 EG353 系列具有内置灵活性，可适用于各种肖特基发射电子枪配置，为扫描电子显微镜 (SEM) 提供了可靠性与稳定性俱佳的电源。EG353 系列采用 Advanced Energy 的直接驱动数字控制 (D3C)，外形尺寸更小，平均故障间隔时间性能和可靠性更高。凭借久经验证的设计和功率转换技术，EG353 电源有助于最大限度提高图像质量和可重复性。
优点
- 效率更高，工作更稳定，组件差异更低，可靠性更出色，测试更轻松
- 通过灵活模块和机架安装选项轻松进行安装
- 使用标准和专用附件进行定制
- 通过直接驱动数字控制 (D3C) 技术最大限度缩短设置和配置时间
特点
- 纹波低（< 1.6 ppm，加速器），稳定性高（< 10 ppm，加速器），分辨率高达 1 nm
- Advanced Energy 的直接驱动数字控制 (D3C) 技术提供市场领先的可靠性和性能
- 机械结构选择 — 小尺寸模块或 19 英寸机架安装机组
- 可根据要求提供客户定义衍生产品和连接选项
- 易于使用的数字控制和监视；可以增加额外的接地输出
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电气
输出功率
加速器：6 W
牵引器：4 W
抑制器：0.1 W
加热器：15 W输出电压
加速器：-30 kV 200 µA
牵引器：+10 kV 400 µA
抑制器：-1 kV 100 µA
加热器：5 V 3 A电压纹波
加速器：< 2 ppm (50 mVpp)
牵引器：< 2 ppm (20 mVpp)
抑制器：< 30 ppm (30 mVpp)
加热器：< 1 mA pp/5 mVpp（1 Ω 负载时）温度系数
加速器：< 25 ppm/°C
牵引器：< 25 ppm/°C
抑制器：< 20 ppm/°C -
环境
工作温度范围
10°C 至 45°C（50°F 至 113°F）
存放温度范围
-20°C 至 +70°C（-4°F 至 158°F）
湿度
温度低于 31°C（含）时 80% 最大相对湿度，线性递减至 40°C (140°F) 时的 50%
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机械
模块尺寸
240 x 130 x 332 立方毫米（9.4 x 5.1 x 13 立方英寸）（宽 x 高 x 深）
模块重量
10.2 千克（22.5 磅）
机架安装机组尺寸
440 x 132.6 x 345 立方毫米（17.3 x 5.2 x 13.5 立方英寸）（宽 x 高 x 深）
机架安装重量
12 千克（26.5 磅）
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接口
输入连接器
2 路 PTR/Phoenix STLZ950/2-G-5.08-green（针 1 为正，针 2 为负）
高压输出连接器
加热器：双线客户 4 路高压连接器
抑制器：单线客户 4 路高压连接器
牵引器：单线客户 4 路高压连接器 -
选项和附件
电源连接器
- 标准 EG353 4 点连接器
- Claymount CA12 连接器
- 安装类型：紧凑模块
- 19 英寸机架安装机组
附件
- 带 EG353 连接器和 SEM 柱连接器的高压输出电缆 — 1 米、3 米或 5 米
- 增加串行到光学接口
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。