Product Portfolio

等离子体发生器

Advanced Energy 经过现场验证的 Precision Power^TM 解决方案集顶级控制、无与伦比的电弧处理和尖端的匹配技术于一体。我们的发生器具有卓越的综合能力，赋予您全新制造工艺和优势。

查看全部

正在寻找可靠、精确的直流电源解决方案？我们提供标准直流和脉冲直流电源选择。我们的电源拥有全面庞大的功能集和可靠的性能表现，可广泛应用于几乎各大工业应用，包括半导体制造、平板显示、玻璃镀膜、薄膜制造等等。

Advanced Energy 低频和中频电源高效且易于集成，可快速改善多种应用的工艺控制。

利用 Advanced Energy 功能全面的脉冲直流电源系统拓展工艺创新。最大限度减少电弧，提高沉积率，改善薄膜平整度和堆积密度。

我们提供多种不同的射频等离子体发生器供您选择，您更可获得多种独特功能，以满足配置、控制和应用需求。从各种不同的底座和尺寸，到全数字控制和等离子体动态响应，我们的射频发生器可以激发您的工艺创新灵感。

实现快速、精确和可靠匹配。Advanced Energy 的匹配网络可在多个功率范围内稳定运行。提供即插即用型号或可配置机组，安装方便，可加快调谐速度，加强工艺控制。

Advanced Energy 的 Thyro 可控硅功率控制器兼具灵活性与出众性能表现。无论是简单应用还是复杂应用，均可通过成熟的可控硅操作、控制模式、数字电源负载优化和电压顺序控制，确保产品质量。

查看全部

数字半导体晶闸管功率控制器，可支持 ±3.0% 的操作分辨率和高达 1500 A 的负载。

先进的功率控制器，可支持高达 280 A 的电流和高达 500 V 的电压。

先进的功率控制器，可支持 ±0.5% 的操作分辨率和高达 2900 A 的负载。

面向一般加热应用的数字半导体晶闸管功率控制器，可支持高达 350 A 的负载。