温度测量产品

UV 400 和 UVR 400

用于 650°C 至 1300°C 氮化镓基外延的真实晶圆表面温度和反射率测量

Advanced Energy 的 UV 400 和 UVR 400 高温计可直接测量晶圆表面温度,而非传统的基座/容器温度。

  • 温度范围宽(650°C 至 1300°C),可同时覆盖主缓冲生长和 MQW 生长
  • 通过 UVR 400 上的 635 nm 附加反射计测量沉积厚度
  • 辐射率、透射比和子范围均可调
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 附件
  • 服务和支持
  • 经销商

概述

Advanced Energy 的 UV 400 和 UVR 400 高温计可直接测量晶圆表面温度。这种改进方法可对晶圆温度进行更精确的控制,从而提高良品率。

UVR 400 包括一个波长为 635 nm、测量速度为 0.5 kHz 的附加反射计。这样,便于测量沉积厚度。

这些系统为 LED 生产工艺设定了全新标准。结果表明,工艺温度与最终产品波长之间存在可靠的相关性。

优点

  • 通过精确的真实晶圆温度测量提高良品率
  • 使用紫外波长仪器在氮化镓层上直接测量温度
  • 使用快速脉冲光源捕获实时反射率测量
  • 防止近红外辐射率补偿高温计指示的残留温度振荡
  • 防止采样延迟导致的数据偏斜(无快门开启和关闭)

特点

  • 采用 PL 波长校正,晶圆温度可靠
  • 可提供模拟量输出和具有 UPP 协议接口的 RS485
  • 可在温度范围内调节子范围
  • 装置能承受氮气气氛和真空 (< 10 mbar)
  • 针对反应器温度控制的整体解决方案,配备 PhotriX 和同心光管选项

所选规格如下所示。有关更多规格,请参见产品数据手册。

  • 温度范围

    UV 400 和 UVR 400

    650°C 至 1300°C
    可在温度范围内调节至任意量程,最小量程为 51°C

  • 测量

    光谱范围

    383 至 410 nm(数值的 10%)

    测量不确定性

    < 1000°C:3°C
    > 1000°C:读数的 0.3%
    ε = 1 时,t90 = 1 s,Thous.= 28°C
    高温计必须先工作 30 分钟,这些值才有效。

    可重复性

    0.1% oR + 0.1°C
    ε = 1 时,t90 = 1 s,Thous. = 28°C

    曝光时间 t90

    积分时间:最小 8 ms

    辐射率 ε

    0.100 至 1.000,步长 1/1000

    透射比 τ

    0.100 至 1.000,步长 1/1000

  • 光学

    光学部件

    固定光学部件

    距离比 (FOV)

    最小 8:1(9.8 毫米)

  • 接口和通信

    连接

    用于电源的 M12(8 针)插头连接器,用于测量温度的 RS485 和模拟输出
    用于辐射率测量模拟输出的 M12(4 针)插头连接器

    参数

    可通过接口调节:辐射率 ε、透射比 τ、设置时间 t90、删除时间 tcl、0 至 20 或 4 至 20 mA 模拟输出(可切换)、子范围 RS485:地址、波特率、等待时间 tW

    可通过接口读取:内部探测器温度,单位:0.1°C

    模拟输出

    0 至 20 mA 或 4 至 20 mA,线性(通过数字接口)

    数字接口

    RS485 可寻址(半双工)
    波特率:1200 至 38400

  • 环境

    防护等级

    IP 40 IEC 60529

    真空和气体条件

    装置能承受氮气气氛和真空 (< 10 mbar)。外壳具有空气开口

    操作位置

    任意

    环境温度

    外壳上 10°C 至 38°C

    存放温度

    -20°C 至 50°C

    相对湿度

    无冷凝条件

    重量

    2.5 千克(不带适配器的仪器)

    外壳

    黑色阳极氧化铝

    通过 CE 认证

    符合欧盟关于电磁抗扰度的指令

  • 电气

    功耗

    最大 5 W

    负载

    0 至 500 Ω

    隔离

    电源、模拟输出和数字接口相互电隔离

  • 典型应用

    • 真实晶圆表面温度测量

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

附件

Electrical Accessory

Impac Other Electrical

Other Electrical Accessories Compatible With Impac Pyrometers

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