温度测量产品

Sekidenko OR400M

具有可选/固定辐射率的单通道温度测量能力

Sekidenko OR400M 为需要更大波长的半导体应用提供精确的温度测量。

  • 可根据材料类型和所需温度范围进行波长配置
  • 集成光学传感器
  • 同时提供模拟和数字通信,提供可选 Fieldbus 协议,以实现闭环控制
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  • 技术参数
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  • 服务和支持
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概述

Advanced Energy 的 OR400M 光学高温计将灵活的 Sekidenko 产品系列扩展到 3.3 至 5.2 µm 中红外区波长范围。OR400M 为薄膜太阳能、玻璃和先进半导体工艺提供单通道温度测量能力。OR400M 支持 RS-232 和模拟数据接口。它采用紧凑设计,可轻松满足多种过程应用的小尺寸要求。

优点

  • 提高关键过程的温度测量精度
  • 提高可重复性并最大限度减少变化
  • 提高生产率、产量和吞吐量
  • 提高多种腔体和基材材料的稳定性和可靠性

特点

  • 采用透镜式光学传感器的非接触温度测量
  • 自动环境热校正
  • 业内领先的温度和读取速率
  • 高度灵活、基于模块的平台架构
  • 完整的 I/O 和外部触发/同步套件
  • 通道配置

    具有可选/固定辐射率的单通道温度测量能力

  • 温度范围

    50°C 至 1300°C

  • 测量波长

    3.3 至 5.2 µm,可提供定制波长

  • 读取速率

    最大 250 Hz

  • 准确性

    ±3°C

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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