温度测量产品

Luxtron m920 系列

用于 OEM -100ºC 至 330ºC 的光纤温度传感系统

Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和双通道 m922 半导体模块经过精心设计,可对蚀刻器和静电吸盘、腔室和其他设备等晶圆制造设备进行温度监测。
  • 混合和匹配组件
  • 可使用当前半导体 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探头和光纤延长线
  • 内置校准表可匹配定制 AE 探头,实现高精度测量
  • 最大可实现精度为 ±0.05°C(视探头而定)

  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 附件
  • 服务和支持
  • 经销商

概述

完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解决方案采用电子模块组件制造,配备两个主板和探头。主板包含光纤温度传感通道、数字输出(RS232 ASCII 和 RS485 Modbus)和电源连接。模拟输出板安装在主板上方,提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出。还可以选择金属外壳。

m920 系列系统采用 Fluoroptic® 技术。m920 系列主板可对来自 Fluoroptic 探头的测量信号进行调制,然后将校准的温度报告给 OEM 控制系统。

优点

  • 为不同的蚀刻和晶圆制造过程实现高精度和高温范围
  • 以快速采样率监测更快的斜坡条件
  • 使用这种低噪声解决方案获得更精确的温度测量结果
  • 充分利用产品的出色可靠性,降低故障率
  • 获得支持 在全球范围内支持定制集成和探头设计

特点

  • 双通道或四通道,借助 RS485 Modbus 可扩展至多达 64 通道
  • 单 PCB 设计,具有模拟输出和金属外壳等选项
  • 高电压、射频、等离子体和微波等不会对探头产生电磁干扰
  • 可向后兼容 Advanced Energy 弹簧加载和 Accudisc 探头
  • 可为半导体应用提供定制探头
  • 性能

    通道

    m922:2
    m924:4

    温度范围

    -100°C 至 330°C(视探头而定)

    测量分辨率

    0.01°C

    测量速率

    每通道最高 50 Hz

    准确性

    ±0.05°C(视探头而定)

  • 环境规格

    工作温度

    0°C 至 60°C

    高 x 宽 x 长

    23.7 x 100.6 x 134.4 毫米(主板)

    外壳

    电磁屏蔽金属外壳(可选附件)

  • 通信

    模拟输出

    0 至 10 V 或 4 至 20 mA

    串行输出

    RS232 和 RS485

    协议

    ASCII 和 Modbus (RS485)

  • 电气

    输入功率

    100 mA 下公称 +5 至 24 VDC

  • 典型应用

    • 等离子体蚀刻静电吸盘监测
    • 腔室内部等离子簇射监测仪
    • 腔室外部温度监测
    • 晶圆制造设备温度监测
    • 使用射频和等离子体的半导体和 FPD 加工

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

附件

UtilityProbe_web.jpg

Luxtron Fiber Optic Probes

Patented Fluoroptic Probes that are Chemically Resistant and Immune to Electromagnetic Interference

全球服务和支持

应用支持和咨询

保修

产品支持

联系我们

谢谢

您现在可以查看 Advanced Energy 网站上的任何资源。点击下面的按钮即可查看您要求的资源。

谢谢

您现在可以查看 Advanced Energy 网站上的任何资源。点击下面的按钮即可查看您要求的资源。