- 产品
- 温度测量产品
- 光纤传感器
- FluorOptic 温度传感器
- Luxtron m920 系列
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 附件
- 服务和支持
- 经销商
概述
完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解决方案采用电子模块组件制造，配备两个主板和探头。主板包含光纤温度传感通道、数字输出（RS232 ASCII 和 RS485 Modbus）和电源连接。模拟输出板安装在主板上方，提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出。还可以选择金属外壳。
m920 系列系统采用 Fluoroptic® 技术。m920 系列主板可对来自 Fluoroptic 探头的测量信号进行调制，然后将校准的温度报告给 OEM 控制系统。
优点
- 为不同的蚀刻和晶圆制造过程实现高精度和高温范围
- 以快速采样率监测更快的斜坡条件
- 使用这种低噪声解决方案获得更精确的温度测量结果
- 充分利用产品的出色可靠性，降低故障率
- 获得支持 在全球范围内支持定制集成和探头设计
特点
- 双通道或四通道，借助 RS485 Modbus 可扩展至多达 64 通道
- 单 PCB 设计，具有模拟输出和金属外壳等选项
- 高电压、射频、等离子体和微波等不会对探头产生电磁干扰
- 可向后兼容 Advanced Energy 弹簧加载和 Accudisc 探头
- 可为半导体应用提供定制探头
-
性能
通道
m922：2
m924：4温度范围
-100°C 至 330°C（视探头而定）
测量分辨率
0.01°C
测量速率
每通道最高 50 Hz
准确性
±0.05°C（视探头而定）
-
环境规格
工作温度
0°C 至 60°C
高 x 宽 x 长
23.7 x 100.6 x 134.4 毫米（主板）
外壳
电磁屏蔽金属外壳（可选附件）
-
通信
模拟输出
0 至 10 V 或 4 至 20 mA
串行输出
RS232 和 RS485
协议
ASCII 和 Modbus (RS485)
-
电气
输入功率
100 mA 下公称 +5 至 24 VDC
-
典型应用
- 等离子体蚀刻静电吸盘监测
- 腔室内部等离子簇射监测仪
- 腔室外部温度监测
- 晶圆制造设备温度监测
- 使用射频和等离子体的半导体和 FPD 加工
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
