Remote Plasma Sources

Litmas RPS

可清除废气的远程等离子体源和电源系统

作为一款全合一远程等离子体源,Litmas 在一个紧凑支架中集成了电源、LitmasMatch™ 匹配网络和等离子体腔体。

  • 尺寸小巧的使用点消除解决方案
  • 高度可靠的有效清除,所需电力消耗极低
  • 与竞争对手的解决方案相比,具有更低的拥有成本
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

Litmas<sup>®</sup> 远程等离子体源 (RPS) 系统通过传输高浓度反应气体,深度清除氟化气体。该解决方案占地面积小、性能高、易于使用、拥有成本较低,是新建清除装置或改造现有系统的明智之选。

优点

  • 产生高浓度的反应气体,提供更高的破坏效率
  • 符合监管或绿色倡议目标的蚀刻气体清除解决方案
  • 减少沉积过程中的微粒,提高设备的使用寿命
  • 为精确过程控制提供快速匹配、稳定的功率输出
  • 采用小尺寸设计,可在现有或新建生产设施中轻松安装

特点

  • 消除温室气体排放
  • 提供市场上最高的等离子体功率密度
  • 采用耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔体材料
  • 使用获得专利的 LitmasMatch™ 固态电源拓扑
  • 电源、匹配和等离子体腔体均集成在同一个设备中
  • 电源拓扑

    获得专利的 LitmasMatch™ 固态电源拓扑,快速匹配(< 3 ms)

  • 腔体材料

    低再化合 SiO2 或 Al2O3 腔体材料

  • 接口

    • 内置模拟、RS-232 和可选 DeviceNet&lt;sup&gt;®&lt;/sup&gt; 功能
    • 监视、对接和数据记录选项
    • 可选虚拟前面板 (VFP) 软件接口包,便于直观实时控制

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

Data Sheets

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产品比较

模型

Litmas Remote Power Source

LB-3001

Litmas Remote Power Source

LB-4001

等离子体功率范围

100 至 3000 W

100 至 4000 W

输入电压

180 至 229 VAC,3 相

180 至 229 VAC,3 相

输入电流

每相最大 16 A

每相最大 20 A

冷却水流量

5.7 升/分钟(1.5 加仑/分钟)

5.7 升/分钟(1.5 加仑/分钟)

尺寸

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