远程等离子体源

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MAXstream Remote Plasma Source - Maxstream 600

MAXstream

适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源
Rapid OX Remote Power Source

Rapid OX

适用于氧气类过程的远程等离子体源
Xstream Remote Plasma Source

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性能卓越的腔体清洁型高质量远程等离子体源
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