等离子体发生器
Cesar
无与伦比的射频应用电源系列，无需自定义研制周期
Cesar 平台采用强大灵活的设计，可在各种频率和功率输出范围内提供优异的射频电源。
- 可进行性能定制，无需自定义研制周期
- 设计可靠，实现最长的正常运行时间
- 易于操作的强大用户界面
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
成熟可靠的 Cesar® 平台可提供稳定的射频功率，能够承受等离子体工艺中最苛刻的工艺条件。该平台可熟练地处理高负载失配情况，在额定反射功率下仍能保持完全正常工作。Cesar 射频发生器具有高度直观的操作菜单，可从大尺寸前面板 LCD 上操作，能提高效率并最大限度地降低培训成本。
Cesar 射频发生器提供多种可选型号（2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz；0.3 kW 至 5 kW），采用优质部件制造，实现最大可靠性和生产率。
优点
- 采用非常可靠的设计和优质部件，延长工艺正常运行时间
- 可进行性能定制，无需自定义装置研制周期
- 简化运行和提高灵活性
特点
- 紧凑的流线型设计和标准平台封装，易于更换
- 高效率 — 产生的热量更少
- RS-232、以太网和 Profibus 通信
- 有效的前面板配置，便捷的综合操作菜单
- CEX（相位同步）操作模式
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功率等级
Cesar MF
600 W、1 kW、2 kW、2.5 kW、3 kW、5 kW
Cesar HF
300 W、600 W、1 kW、1.2 kW、2 kW、2.5 kW、3 kW、5 kW
Cesar VHF
300 W、500 W、600 W、1 kW、2 kW、4 kW
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频率
Cesar MF
2 MHz、4 MHz
Cesar HF
13 MHz
Cesar VHF
27 MHz、40 MHz
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可用接口
模拟、RS-232、以太网、Profibus、主动前面板
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交流输入
208 和 400 VAC
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工频
50/60 Hz
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冷却
风冷和水冷
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冷却水温度
20°C 至 30°C（68°F 至 86°F）
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高级功能
高效率，主动前面板，CEX
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内，并确保您的设备发挥最大的工作潜力。