等离子体发生器

Cesar

无与伦比的射频应用电源系列,无需自定义研制周期

Cesar 平台采用强大灵活的设计,可在各种频率和功率输出范围内提供优异的射频电源。

  • 可进行性能定制,无需自定义研制周期
  • 设计可靠,实现最长的正常运行时间
  • 易于操作的强大用户界面
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

成熟可靠的 Cesar® 平台可提供稳定的射频功率,能够承受等离子体工艺中最苛刻的工艺条件。该平台可熟练地处理高负载失配情况,在额定反射功率下仍能保持完全正常工作。Cesar 射频发生器具有高度直观的操作菜单,可从大尺寸前面板 LCD 上操作,能提高效率并最大限度地降低培训成本。

Cesar 射频发生器提供多种可选型号(2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz;0.3 kW 至 5 kW),采用优质部件制造,实现最大可靠性和生产率。

优点

  • 采用非常可靠的设计和优质部件,延长工艺正常运行时间
  • 可进行性能定制,无需自定义装置研制周期
  • 简化运行和提高灵活性

特点

  • 紧凑的流线型设计和标准平台封装,易于更换
  • 高效率 — 产生的热量更少
  • RS-232、以太网和 Profibus 通信
  • 有效的前面板配置,便捷的综合操作菜单
  • CEX(相位同步)操作模式
  • 功率等级

    Cesar MF

    600 W、1 kW、2 kW、2.5 kW、3 kW、5 kW

    Cesar HF

    300 W、600 W、1 kW、1.2 kW、2 kW、2.5 kW、3 kW、5 kW

    Cesar VHF

    300 W、500 W、600 W、1 kW、2 kW、4 kW

  • 频率

    Cesar MF

    2 MHz、4 MHz

    Cesar HF

    13 MHz

    Cesar VHF

    27 MHz、40 MHz

  • 可用接口

    模拟、RS-232、以太网、Profibus、主动前面板

  • 交流输入

    208 和 400 VAC

  • 工频

    50/60 Hz

  • 冷却

    风冷和水冷

  • 冷却水温度

    20°C 至 30°C(68°F 至 86°F)

  • 高级功能

    高效率,主动前面板,CEX

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

全球服务和支持

Advanced Energy 可对您的射频电源和匹配度进行定期校准。我们值得信赖的专家可使您的精密射频传感器保持在规格范围内,并确保您的设备发挥最大的工作潜力。

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