等离子体发生器

Arc-Bias Solvix

可将阴极电弧工艺的精度和生产率提升到新高度的电弧偏压解决方案

Solvix 电源专为先进的高科技镀膜设计。

  • 精密的偏压发生器带来新的镀膜功能
  • 可靠性业内领先,可为动态程度极高的 ARC 工艺供电
  • 提供多种系统优化模型
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

强大的电弧放电、靶标材料快速蒸发以及高能离子使得阴极电弧沉积强大但可能不稳定。Solvix® 电弧电源可在高达400 A 的电流范围内通过卓越的功率和工艺控制,提供优异的等离子体电离能力、离子能量和产能。Solvix 电源增强了对镀膜性能的控制,实现更硬、更致密、耐久和附着性高的镀膜。

优点

  • 减轻衬底损害,提高良品率
  • 优异的镀膜密度和附着力
  • 久经验证的可靠性和高产量
  • 可适应多种工艺要求
  • 高效的安装和支持

特点

  • 多种电流、功率和电压调节模式
  • 灵活的架构
  • 风冷
  • 可配置多个机组以满足高功率要求
  • 高性能 DSP 调节器
  • 技术

    脉冲直流偏置和 ARC 源型号

  • 功率

    ARC units

    60、100、210 和 400 A

    偏差单位

    3 至 30 kW

  • 频率

    ARC units

    最大 200 Hz

    偏差单位

    Up to 350 kHz (bias)

  • 其他

    冷却

    风冷

    通信

    模拟(提供 RS-232/485 和 Profibus)

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

全球服务和支持

在产品生命周期的每个阶段提供世界一流的技术服务支持,从启动到长期运行,最大限度提高晶圆厂生产力和设备投资回报率。我们提供的服务是基于三十多年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持和咨询

在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下,可以加快设备安装调试和工艺流程,或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。

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保修

减少额外维护成本,进一步保护成本效益。Advanced Energy 提供整体的延长保修服务。

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产品支持

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美国:+1 800 446 9167
亚洲:+86 29 8874 1895
中国:400 8899 130
欧洲、中东和非洲地区:+44 800 032 1546
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